| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第15-21页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第15-16页 |
| 1.2 压电陶瓷迟滞效应及其补偿方法 | 第16-17页 |
| 1.2.1 压电陶瓷的迟滞效应 | 第16页 |
| 1.2.2 压电陶瓷迟滞效应补偿方法的研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3 压电陶瓷驱动电源的驱动方法及研究现状 | 第17-19页 |
| 1.3.1 压电陶瓷驱动电源的驱动方法 | 第17-18页 |
| 1.3.2 压电陶瓷驱动电源的研究现状 | 第18-19页 |
| 1.4 本文课题来源及主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 压电陶瓷驱动特性曲线的研究 | 第21-32页 |
| 2.1 压电陶瓷的迟滞效应 | 第21-22页 |
| 2.2 不同外型压电陶瓷驱动特性曲线的标定 | 第22-23页 |
| 2.3 驱动特性曲线的预测方法 | 第23-26页 |
| 2.4 行程预测方法的验证 | 第26-28页 |
| 2.5 迟滞曲线的补偿算法 | 第28-29页 |
| 2.6 控制效果的实验验证 | 第29-31页 |
| 2.7 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 压电陶瓷驱动电源基本设计方案 | 第32-36页 |
| 3.1 压电陶瓷驱动电源的设计需求和技术指标 | 第32页 |
| 3.2 驱动电源的整体架构 | 第32-35页 |
| 3.2.1 驱动电源的硬件电路结构 | 第32-34页 |
| 3.2.2 驱动电源的软件组成 | 第34-35页 |
| 3.3 本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 压电陶瓷驱动电源的具体设计 | 第36-56页 |
| 4.1 驱动电源的硬件电路设计 | 第36-44页 |
| 4.1.1 驱动电源硬件电路整体结构 | 第36-37页 |
| 4.1.2 微处理器及其工作电路 | 第37-38页 |
| 4.1.3 USB接口以及转串口电路 | 第38页 |
| 4.1.4 D/A转换电路模块 | 第38-40页 |
| 4.1.5 线性放大模块 | 第40-42页 |
| 4.1.6 功率放大模块 | 第42-44页 |
| 4.1.7 电压采集模块 | 第44页 |
| 4.2 直流稳压电源 | 第44-48页 |
| 4.2.1 板外电源模块设计 | 第45-48页 |
| 4.2.2 板上电源模块设计 | 第48页 |
| 4.3 PCB设计 | 第48-50页 |
| 4.3.1 器件布局规则 | 第48-49页 |
| 4.3.2 PCB走线规则 | 第49页 |
| 4.3.3 数字地与模拟地的处理 | 第49-50页 |
| 4.4 压电陶瓷驱动电源软件设计 | 第50-55页 |
| 4.4.1 上位机软件设计 | 第50-51页 |
| 4.4.2 串口通信协议设计 | 第51-52页 |
| 4.4.3 微处理器软件设计 | 第52-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 压电陶瓷驱动电源的相关实验 | 第56-69页 |
| 5.1 驱动电源的性能指标测定 | 第56-60页 |
| 5.1.1 驱动电源的线性度实验 | 第56-58页 |
| 5.1.2 驱动电源的重复性实验 | 第58-59页 |
| 5.1.3 驱动电源的稳定性实验 | 第59-60页 |
| 5.1.4 驱动电源的纹波实验 | 第60页 |
| 5.2 压电陶瓷驱动电源的功率放大效果实验 | 第60-61页 |
| 5.3 压电陶瓷驱动电源的迟滞补偿效果实验 | 第61-62页 |
| 5.4 压电陶瓷驱动电源的激光散斑干涉实验 | 第62-68页 |
| 5.4.1 压电陶瓷微位移器标定实验 | 第62-63页 |
| 5.4.2 压电陶瓷驱动电源的散斑干涉面外测量实验 | 第63-66页 |
| 5.4.3 压电陶瓷驱动电源的散斑干涉面内测量实验 | 第66-68页 |
| 5.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-70页 |
| 6.1 总结 | 第69页 |
| 6.2 展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第73页 |