| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 引言 | 第13-14页 |
| 1.2 薄膜的制备方法 | 第14-16页 |
| 1.2.1 真空蒸镀 | 第14页 |
| 1.2.2 离子沉积 | 第14-15页 |
| 1.2.3 离子束沉积 | 第15页 |
| 1.2.4 溅射沉积 | 第15-16页 |
| 1.3 纳米复合膜和多层膜 | 第16-18页 |
| 1.3.1 纳米复合膜的概述和研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3.2 纳米多层膜的概述和研究现状 | 第17-18页 |
| 1.4 Al膜、Al_2O_3膜以及Al-Al_2O_3复合膜和多层膜的研究现状 | 第18-23页 |
| 1.4.1 Al膜的性能、应用及研究现状 | 第18-20页 |
| 1.4.2 Al_2O_3膜的性能、应用及研究现状 | 第20-22页 |
| 1.4.3 Al-Al_2O_3复合膜和多层膜的研究现状 | 第22-23页 |
| 1.5 本文选题意义和研究内容 | 第23-25页 |
| 1.5.1 本文选题意义 | 第23-24页 |
| 1.5.2 本文研究内容 | 第24-25页 |
| 第二章 薄膜的制备与表征 | 第25-33页 |
| 2.1 薄膜的制备方法与实验器材 | 第25-27页 |
| 2.1.1 磁控溅射的理论基础 | 第25-26页 |
| 2.1.2 实验设备与实验准备 | 第26-27页 |
| 2.2 薄膜结构的表征 | 第27-30页 |
| 2.2.1 X射线光电子能谱(XPS)分析 | 第27-28页 |
| 2.2.2 X射线衍射(XRD)分析 | 第28页 |
| 2.2.3 透射电子显微镜(TEM)分析 | 第28-29页 |
| 2.2.4 扫描电子显微镜(SEM)分析 | 第29页 |
| 2.2.5 原子力显微镜(AFM)分析 | 第29-30页 |
| 2.3 薄膜性能的测试 | 第30-33页 |
| 2.3.1 膜基结合力测试 | 第30-31页 |
| 2.3.2 耐摩擦磨损性测试 | 第31页 |
| 2.3.3 耐腐蚀性能测试 | 第31-32页 |
| 2.3.4 拉伸性能测试 | 第32-33页 |
| 第三章 Al膜和Al_2O_3膜制备工艺的研究 | 第33-43页 |
| 3.1 Al膜制备工艺的研究 | 第33-36页 |
| 3.1.1 实验材料与步骤 | 第33页 |
| 3.1.2 实验结果与分析 | 第33-36页 |
| 3.1.2.1 溅射功率对Al膜表面形貌的影响 | 第33-34页 |
| 3.1.2.2 溅射气压对Al膜表面形貌的影响 | 第34-35页 |
| 3.1.2.3 溅射时间对Al膜表面形貌的影响 | 第35-36页 |
| 3.2 Al_2O_3膜制备工艺的研究 | 第36-41页 |
| 3.2.1 实验材料与步骤 | 第36-37页 |
| 3.2.2 实验结果与分析 | 第37-41页 |
| 3.2.2.1 溅射参数对Al_2O_3膜沉积率的影响 | 第37-38页 |
| 3.2.2.2 溅射功率对Al_2O_3膜表面形貌的影响 | 第38-39页 |
| 3.2.2.3 溅射功率对Al_2O_3膜成分和结构的影响 | 第39-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 Al-Al_2O_3复合膜的结构与性能研究 | 第43-63页 |
| 4.1 Al_2O_3基Al增强Al-Al_2O_3复合膜的结构与性能研究 | 第43-54页 |
| 4.1.1 实验材料与步骤 | 第43-44页 |
| 4.1.2 实验结果与分析 | 第44-54页 |
| 4.1.2.1 不同Al含量Al-Al_2O_3复合膜的XPS分析 | 第44-45页 |
| 4.1.2.2 不同Al含量Al-Al_2O_3复合膜的XRD分析 | 第45-46页 |
| 4.1.2.3 不同Al含量Al-Al_2O_3复合膜的TEM分析 | 第46-47页 |
| 4.1.2.4 不同Al含量Al-Al_2O_3复合膜的SEM分析 | 第47-48页 |
| 4.1.2.5 不同Al含量Al-Al_2O_3复合膜的AFM分析 | 第48-49页 |
| 4.1.2.6 不同Al含量Al-Al_2O_3复合膜膜基结合力的研究 | 第49-50页 |
| 4.1.2.7 不同Al含量Al-Al_2O_3复合膜耐摩擦磨损性能的研究 | 第50-54页 |
| 4.2 Al基Al_2O_3增强Al-Al_2O_3复合膜的结构与性能研究 | 第54-60页 |
| 4.2.1 实验材料与步骤 | 第54-55页 |
| 4.2.2 实验结果与分析 | 第55-60页 |
| 4.2.2.1 不同Al_2O_3含量Al-Al_2O_3复合膜的XPS分析 | 第55-56页 |
| 4.2.2.2 不同Al_2O_3含量Al-Al_2O_3复合膜的XRD分析 | 第56页 |
| 4.2.2.3 不同Al_2O_3含量Al-Al_2O_3复合膜的SEM分析 | 第56-58页 |
| 4.2.2.4 不同Al_2O_3含量Al-Al_2O_3复合膜膜基结合力的研究 | 第58-59页 |
| 4.2.2.5 不同Al_2O_3含量Al-Al_2O_3复合膜耐腐蚀性能的研究 | 第59-60页 |
| 4.3 本章小结 | 第60-63页 |
| 第五章 Al/Al_2O_3多层膜的结构与性能研究 | 第63-73页 |
| 5.1 Al层和Al_2O_3层溅射工艺参数的确定 | 第63-64页 |
| 5.1.1 Al层溅射工艺参数的确定 | 第63页 |
| 5.1.2 Al_2O_3层溅射工艺参数的确定 | 第63-64页 |
| 5.2 Al/Al_2O_3多层膜的结构与性能研究 | 第64-70页 |
| 5.2.1 实验材料与步骤 | 第64页 |
| 5.2.2 实验结果与分析 | 第64-70页 |
| 5.2.2.1 Al/Al_2O_3多层膜的XRD分析 | 第64-65页 |
| 5.2.2.2 Al/Al_2O_3多层膜的SEM分析 | 第65-66页 |
| 5.2.2.3 Al/Al_2O_3多膜的拉伸性能分析 | 第66-69页 |
| 5.2.2.4 Al/Al_2O_3多层膜的耐腐蚀性能分析 | 第69-70页 |
| 5.3 本章小结 | 第70-73页 |
| 第六章 结论 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-85页 |
| 附录: 攻读硕士学位期间发表论文情况 | 第85页 |
