| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| ·薄膜太阳电池概述 | 第10-13页 |
| ·薄膜太阳电池的发展 | 第10-11页 |
| ·硅基薄膜太阳电池的结构 | 第11-12页 |
| ·薄膜电池中的陷光结构 | 第12-13页 |
| ·硅基NIP 薄膜太阳电池背电极 | 第13-16页 |
| ·金属背反射电极 | 第13页 |
| ·透明导电氧化物薄膜 | 第13-14页 |
| ·绒面复合背反射电极 | 第14-16页 |
| ·Al 背反射电极 | 第16-19页 |
| ·Al 的基本性能 | 第16-17页 |
| ·Al 背反射电极的制备 | 第17页 |
| ·薄膜的生长 | 第17-19页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 实验方法与主要仪器设备简介 | 第21-26页 |
| ·制备方法与设备 | 第21-22页 |
| ·Al 及ZnO 薄膜的制备工艺及设备 | 第21-22页 |
| ·NIP 硅基薄膜太阳电池的制备工艺及设备 | 第22页 |
| ·主要测试技术与方法 | 第22-26页 |
| ·台阶仪 | 第22-23页 |
| ·薄膜表面形貌的测定 | 第23-24页 |
| ·分光光度计 | 第24页 |
| ·霍尔测试仪 | 第24-25页 |
| ·X 射线衍射仪（XRD） | 第25页 |
| ·X 射线光电子能谱仪（XPS） | 第25页 |
| ·太阳模拟器 | 第25-26页 |
| 第三章 绒面 Al 薄膜的制备及性能研究 | 第26-58页 |
| ·衬底温度对Al 薄膜性能的影响 | 第26-34页 |
| ·衬底温度对薄膜结构的影响 | 第26-28页 |
| ·衬底温度对薄膜成分的影响 | 第28-31页 |
| ·衬底温度对薄膜表面形貌的影响 | 第31-33页 |
| ·薄膜的反射率 | 第33-34页 |
| ·溅射功率对Al 薄膜性能的影响 | 第34-40页 |
| ·溅射功率对沉积速率的影响 | 第35页 |
| ·溅射功率对薄膜结构的影响 | 第35-37页 |
| ·溅射功率对薄膜表面形貌的影响 | 第37-39页 |
| ·溅射功率对薄膜光学性能的影响 | 第39-40页 |
| ·溅射压强对Al 薄膜性能的影响 | 第40-47页 |
| ·溅射压强对沉积速率的影响 | 第40-41页 |
| ·溅射压强对薄膜结构的影响 | 第41-42页 |
| ·溅射压强对薄膜表面形貌的影响 | 第42-46页 |
| ·溅射压强对薄膜光学性能的影响 | 第46-47页 |
| ·厚度对Al 薄膜性能的影响 | 第47-51页 |
| ·厚度对薄膜结构的影响 | 第47-48页 |
| ·厚度对薄膜表面形貌的影响 | 第48-50页 |
| ·厚度对薄膜光学性能的影响 | 第50-51页 |
| ·本底真空对Al 薄膜性能的影响 | 第51-52页 |
| ·热处理对Al 薄膜性能的影响 | 第52-55页 |
| ·双层Al 薄膜的制备 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第四章 Al/ZnO 复合背反射电极的研究及其初步应用 | 第58-65页 |
| ·Al/ZnO 复合背反射电极的研究 | 第58-62页 |
| ·Al 薄膜对Al/ZnO 复合背反射电极反射性能的影响 | 第58-59页 |
| ·ZnO 厚度对Al/ZnO 复合背反射电极的影响 | 第59-60页 |
| ·Al/ZnO 复合背反射电极ZnO 厚度的确定 | 第60-62页 |
| ·Al/ZnO 复合背反射电极在NIP 电池中的初步应用 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第五章 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
