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TixV1-xO2薄膜的制备及其能带结构分析

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第10-24页
    1.1 介绍第10-12页
        1.1.1 研究现状第10-11页
        1.1.2 VO_2的应用第11-12页
    1.2 VO_2金属绝缘相变第12-20页
        1.2.1 晶相结构第12-15页
        1.2.2 轨道分布第15-17页
        1.2.3 相变机制第17-18页
        1.2.4 物理性质第18-20页
    1.3 VO_2的掺杂第20-22页
        1.3.1 金属掺杂VO_2的方法第21页
        1.3.2 掺杂VO_2性质的改变第21-22页
        1.3.3 钛掺杂第22页
    1.4 本章小结第22-24页
第二章 Ti_xV_(1-x)O_2薄膜的制备第24-39页
    2.1 磁控溅射原理第24-26页
        2.1.1 阴极溅射第24-25页
        2.1.2 磁控溅射第25-26页
    2.2 共溅射-氧化耦合法制备Ti_xV_(1-x)O_2薄膜第26-28页
        2.2.1 磁控溅射金属薄膜第26-28页
        2.2.2 氧化生成Ti_xV_(1-x)O_2薄膜第28页
    2.3 Ti_xV_(1-x)O_2薄膜的表征与分析第28-38页
        2.3.1 薄膜电阻分析第29-31页
        2.3.2 透射电镜扫描分析第31-32页
        2.3.3 XRD扫描分析第32-35页
        2.3.4 XPS谱图分析第35-36页
        2.3.5 紫外-红外透射光谱分析第36-38页
    2.4 本章小结第38-39页
第三章 轨道占据调控VO_2相变温度第39-49页
    3.1 Ti_xV_(1-x)O_2样品的轨道分布第39-43页
        3.1.1 光谱拟合分析方法第39-41页
        3.1.2 d_(‖)轨道和π~*轨道的能级变化第41-43页
        3.1.3 d_(‖)轨道和π~*轨道的分离第43页
    3.2 第一性原理计算第43-46页
        3.2.1 计算方法第43-44页
        3.2.2 计算参数第44-45页
        3.2.3 计算结果第45-46页
    3.3 相变温度的改变第46-48页
        3.3.1 T_(MIT)与3d轨道的联系第46-47页
        3.3.2 轨道电子占据调控T_(MIT)第47-48页
    3.4 本章小结第48-49页
第四章 总结第49-51页
    4.1 论文总结第49页
    4.2 展望第49-51页
参考文献第51-55页
附录第55-57页
致谢第57-58页
攻读学位期间的研究成果第58页

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