横向电场激励的FBAR仿真设计及其凝血检测

摘要	第7-9页
ABSTRACT	第9-10页
1 绪论	第14-22页
1.1 FBAR工作原理与基本结构	第14-17页
1.2 FBAR的研究进展	第17-20页
1.3 本文的研究内容	第20-22页
2 横向电场激励的FBAR理论模型	第22-33页
2.1 晶体的声学特性	第22-25页
2.2 晶体的电学特性	第25-27页
2.3 晶体的压电特性	第27-30页
2.4 横向电场激励剪切波谐振的可行性分析	第30-33页
3 横向电场激励的FBAR电极有限元分析	第33-49页
3.1 FBAR有限元建模仿真	第33-37页
3.2 电极的优化仿真	第37-49页
4 横向电场激励的FBAR测试与电学模型	第49-61页
4.1 FBAR的制备和性能测试	第49-52页
4.2 FBAR的电学模型分析和仿真	第52-61页
5 横向电场激励的FBAR凝血检测	第61-70页
5.1 凝血检测技术的发展	第61-62页
5.2 FBAR传感器系统结构和粘度特性	第62-64页
5.3 凝血过程的实时原位分析	第64-67页
5.4 Ca~(2+)浓度对凝血过程的影响	第67-70页
6 总结与展望	第70-72页
参考文献	第72-78页
致谢	第78-79页
攻读硕士期间主要成果	第79页