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金刚石单晶合成工艺与触媒和金属包膜的结构及高温高压热力学

摘要第7-9页
ABSTRACT第9-10页
第1章 绪论第11-32页
    §1.1 人造金刚石合成的历史、现状及主要方法第11-15页
        1.1.1 人造金刚石合成的历史、现状第11-13页
        1.1.2 人造金刚石合成的主要方法第13-15页
    §1.2 高温高压合成金刚石机理的研究概况第15-20页
        1.2.1 碳的压力—温度相图第15-17页
        1.2.2 石墨转变为金刚石的基本原理第17-18页
        1.3.3 高温高压金刚石的合成机理第18-20页
    §1.3 触媒及金属包膜的研究概况第20-24页
        1.3.1 人工合成金刚石所用触媒的研究现状第20-21页
        1.3.2 金属包膜研究现状第21-24页
    §1.4 影响金刚石合成的主要工艺因素第24-27页
        1.4.1 合成时间第25页
        1.4.2 合成温度第25-26页
        1.4.3 合成压力第26页
        1.4.4 终态合成功率第26-27页
    §1.5 石墨—金刚石相变的热力学研究第27-30页
        1.5.1 人造金刚石的热力学研究概述第27-28页
        1.5.2 石墨直接转变为金刚石的热力学研究第28-29页
        1.5.3 对金刚石结晶“V”形区的认识第29-30页
    §1.6 研究内容和目标、拟解决的关键问题第30-32页
        1.6.1 本文的主要研究内容第30-31页
        1.6.2 拟解决的关键问题第31-32页
第2章 试验材料和方法第32-38页
    §2.1 触媒制备及原材料第32-34页
        2.1.1 粉末冶金铁基触媒及其制备第32-33页
        2.1.2 镍基触媒及其制备第33页
        2.1.3 石墨片第33页
        2.1.4 叶腊石第33-34页
    §2.2 高温高压合成金刚石试验第34-35页
        2.2.1 合成前触媒片与石墨片的装配第34页
        2.2.2 高温高压合成试验第34-35页
        2.2.3 金刚石的提纯第35页
    §2.3 触媒与金属包膜的组织结构和成分分析第35-37页
        2.3.1 合成后触媒与金属包膜的金相分析第35-36页
        2.3.2 合成后触媒与金属包膜的SEM分析第36页
        2.3.3 合成后触媒与金属包膜的XRD分析第36页
        2.3.4 合成后触媒与金属包膜的TEM分析第36页
        2.3.5 金属包膜的EPMA分析第36-37页
        2.3.6 铁基金属包膜的HRTEM分析第37页
        2.3.7 铁基含硼金属包膜的Raman光谱分析第37页
    §2.4 高温高压热力学计算方法第37-38页
第3章 不同工艺合成后的铁基触媒和金属包膜的组织第38-69页
    §3.1 合成的不同时期铁基触媒和金属包膜的组织第39-49页
        3.1.1 不同时间合成后触媒与金属包膜的金相组织分析第39-45页
        3.1.2 不同合成时间金刚石合成效果与相应触媒组织的对比第45-49页
    §3.2 不同温度合成后的铁基触媒和金属包膜的组织第49-53页
        3.2.1 实验结果分析第50-53页
    §3.3 不同压力合成后的铁基触媒和金属包膜的组织第53-55页
        3.3.1 实验结果分析第53-55页
    §3.4 铁基触媒和金属包膜的组织形貌和结构分析第55-67页
        3.4.1 铁基触媒金属包膜的SEM组织第56-58页
        3.4.2 合成后的铁基触媒和金属包膜的XRD分析第58-60页
        3.4.3 合成后的铁基触媒和金属包膜的TEM分析第60-62页
        3.4.4 铁基金属包膜的EPMA观察第62-64页
        3.4.5 铁基金属包膜的HRTEM观察第64-66页
        3.4.6 初生渗碳体高温高压金刚石化的初步分析第66-67页
    §3.5 本章小结第67-69页
第4章 不同工艺合成后的镍基触媒和金属包膜的组织第69-85页
    §4.1 合成的不同时期镍基触媒和金属包膜的组织第69-74页
        4.1.1 实验结果分析第70-74页
    §4.2 不同温度下合成后的镍基触媒和金属包膜的组织第74-77页
        4.2.1 实验结果分析第74-77页
    §4.3 不同压力下合成后的镍基触媒和金属包膜的组织第77-79页
        4.3.1 实验结果分析第77-79页
    §4.4 镍基金属包膜的形貌和成分分布分析第79-83页
        4.4.1 镍基触媒金属包膜的SEM组织第79-80页
        4.4.2 镍基金属包膜的EPMA面扫描分析第80-83页
        4.4.3 铁基触媒和镍基触媒合成金刚石单晶的比较第83页
    §4.5 本章小结第83-85页
第5章 高温高压热力学计算第85-102页
    §5.1 石墨转变为金刚石的热力学计算第85-92页
        5.1.1 石墨转变为金刚石自由能变化的推导第85-86页
        5.1.2 第一部分的计算第86页
        5.1.3 第二部分的计算第86-87页
        5.1.4 第三部分的计算第87-90页
        5.1.5 分析讨论第90-92页
    §5.2 渗碳体高温高压金刚石化的热力学探讨第92-98页
        5.2.1 Fe_3C(?)C(金刚石)+3γ—Fe吉布斯自由能变化的推导第93页
        5.2.2 第一部分的计算第93-94页
        5.2.3 第二部分的计算第94页
        5.2.4 第三部分的计算第94-95页
        5.2.5 分析讨论第95-98页
    §5.3 渗碳体高温高压石墨化的热力学探讨第98-99页
    §5.4 铁基触媒合成金刚石单晶“V”形区的分析第99-100页
    §5.5 本章小结第100-102页
第6章 高温高压合成含硼金刚石单晶制备工艺的初探第102-115页
    §6.1 引言第102-104页
    §6.2 含硼金刚石合成的实验结果分析第104-115页
        6.2.1 含硼金刚石的晶体形态第104-106页
        6.2.2 含硼金刚石的成核密度及分布第106-108页
        6.2.3 金刚石合成后含硼铁基触媒的形貌第108-109页
        6.2.4 含硼金刚石的Raman光谱分析第109-111页
        6.2.5 含硼金刚石的半导体性能检测第111-113页
        6.2.6 本章小结第113-115页
第7章 结论与建议第115-118页
参考文献第118-126页
致谢第126-127页
攻读硕士学位期间发表的学术论文目录第127-128页
攻读硕士学位期间参与的科研项目第128-129页
学位论文评阅及答辩情况表第129页

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