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可控直径/周期有序纳米线阵列的制备及性能研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第1章 绪论第11-23页
    1.1 前言第11页
    1.2 纳米材料的基本特性第11-13页
    1.3 纳米线材料的广泛应用第13-16页
    1.4 一维纳米结构的制备第16-20页
        1.4.1 VLS生长机制第17-18页
        1.4.2 SLS生长机制第18-19页
        1.4.3 其他生长机制第19-20页
    1.5 纳米线材料面临的挑战第20-21页
    1.6 本文主要研究内容第21-23页
第2章 可控直径/周期有序Si纳米线阵列的制备第23-39页
    2.1 引言第23-25页
    2.2 MACE方法制备硅纳米线阵列第25-29页
        2.2.1 硅片的清洗第25-26页
        2.2.2 模板制备第26-27页
        2.2.3 金属薄膜的沉积第27页
        2.2.4 有序硅纳米阵列的实现第27-29页
    2.3 纳米线表面SiO_2层的制备第29-31页
    2.4 高温热氧化过程中的Si纳米线理论研究第31-36页
        2.4.1 纳米线应力分布第31-34页
        2.4.2 纳米线氧化层的生长动力学第34-36页
    2.5 可控D/P硅纳米线阵列的实现第36-38页
    2.6 本章小结第38-39页
第3章 Si/SiO_2芯壳纳米线光学性质研究第39-55页
    3.1 引言第39-40页
    3.2 Si/SiO_2芯壳纳米线的制备第40-42页
    3.3 Si/SiO_2芯壳纳米线光学性质第42-46页
        3.3.1 光学模型的建立第42-45页
        3.3.2 SiO_2厚度对纳米线阵列光反射的影响第45-46页
    3.4 Si/SiO_2芯壳纳米线模式分析第46-53页
    3.5 本章小结第53-55页
第4章 硅基GaAs纳米线有序阵列的制备第55-71页
    4.1 引言第55-57页
    4.2 分子束外延技术简介第57-61页
        4.2.1 分子束外延的发展与基本原理第57-59页
        4.2.2 Varian GEN Ⅱ分子外延设备第59-60页
        4.2.3 反射高能电子衍射第60-61页
    4.3 硅基GaAs纳米线的外延生长第61-65页
        4.3.1 Au催化VLS生长GaAs纳米线第63页
        4.3.2 Ga自催化VLS生长GaAs纳米线第63-65页
    4.4 硅基Si/GaAs异质结纳米线的有序生长第65-69页
        4.4.1 有序硅纳米线衬底的制备第66-68页
        4.4.2 有序Si/GaAs纳米线的生长第68-69页
    4.5 本章小结第69-71页
第5章 GaAs纳米线的钝化研究第71-87页
    5.1 引言第71-72页
    5.2 GaAs纳米线钝化的理论机制第72-74页
    5.3 PL谱实验测试系统第74-77页
        5.3.1 PL谱简介第74-75页
        5.3.2 搭建测试系统第75-77页
    5.4 纳米线表面态的影响第77-85页
        5.4.1 变温GaAs纳米线的PL测试第77-78页
        5.4.2 钝化对PL峰强的影响第78-81页
        5.4.3 PL谱峰相对强度的理论计算第81-85页
    5.5 本章小结第85-87页
第6章 结论与展望第87-89页
参考文献第89-101页
致谢第101-103页
在读期间发表的学术论文与取得的研究成果第103页

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