PZT压电陶瓷磁控溅射金属化的研究
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 图录 | 第12-16页 |
| 表录 | 第16-17页 |
| 第1章 绪论 | 第17-36页 |
| 1.1 PZT压电陶瓷与元器件 | 第17-25页 |
| 1.1.1 PZT压电陶瓷 | 第17-18页 |
| 1.1.2 PZT压电元器件 | 第18-22页 |
| 1.1.3 PZT压电元器件行业概况 | 第22-24页 |
| 1.1.4 PZT压电陶瓷与元器件研究现状 | 第24-25页 |
| 1.2 PZT压电陶瓷金属化 | 第25-33页 |
| 1.2.1 金属化技术原理 | 第25-27页 |
| 1.2.2 PZT压电陶瓷金属化工艺方法 | 第27-31页 |
| 1.2.3 国内外研究现状 | 第31-33页 |
| 1.3 研究动机 | 第33-34页 |
| 1.4 本文内容和章节安排 | 第34-36页 |
| 第2章 金属化机制与膜系结构设计 | 第36-46页 |
| 2.1 磁控溅射金属化原理和成膜机制 | 第36-38页 |
| 2.1.1 磁控溅射金属化原理 | 第36页 |
| 2.1.2 金属化电极薄膜的成膜机制 | 第36-38页 |
| 2.2 金属化电极设计原则 | 第38-43页 |
| 2.2.1 金属化电极薄膜的性能要求 | 第38-39页 |
| 2.2.2 接触机制 | 第39-41页 |
| 2.2.3 焊接机制 | 第41-42页 |
| 2.2.4 熔蚀机制 | 第42-43页 |
| 2.3 多层膜金属化电极的设计 | 第43-44页 |
| 2.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 第3章 PZT压电蜂鸣片金属化工艺研究 | 第46-73页 |
| 3.1 PZT压电蜂鸣片技术指标 | 第46-47页 |
| 3.2 制备多层膜电极 | 第47-50页 |
| 3.3 实验数据的表征和分析 | 第50-71页 |
| 3.3.1 过渡层对结合力的影响 | 第50-57页 |
| 3.3.2 中间层对器件性能的影响 | 第57-59页 |
| 3.3.3 PZT压电蜂鸣器性能测试 | 第59-71页 |
| 3.4 本章小结 | 第71-73页 |
| 第4章 其他PZT压电元器件金属化工艺研究 | 第73-85页 |
| 4.1 压电点火器 | 第73-81页 |
| 4.1.1 电极结合力 | 第74-75页 |
| 4.1.2 金属化掩膜方法 | 第75-81页 |
| 4.1.3 产业化设想 | 第81页 |
| 4.2 压电谐振器 | 第81-83页 |
| 4.3 压电超声波振子 | 第83-84页 |
| 4.4 本章小结 | 第84-85页 |
| 第5章 总结与展望 | 第85-88页 |
| 5.1 论文的主要内容 | 第85-86页 |
| 5.2 论文的主要创新点 | 第86页 |
| 5.3 论文的不足之处及将来的研究工作 | 第86-88页 |
| 参考文献 | 第88-96页 |
| 作者简历及在校器件所取得的科研成果 | 第96页 |
