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电沉积方法制备FeCo基薄膜磁性能的研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第一章 绪论第9-15页
    1.1 引言第9页
    1.2 软磁材料的种类和发展第9-10页
    1.3 金属软磁薄膜第10-12页
    1.4 电化学沉积制备软磁薄膜的研究现状及进展第12-13页
    1.5 研究的动机第13-14页
    参考文献第14-15页
第二章 理论、样品的制备第15-34页
    2.1 磁性理论第15-23页
        2.1.1 静态磁性第15-20页
        2.1.2 动态磁性第20-23页
    2.2 样品的制备第23-26页
        2.2.1 电化学沉积的原理简介第23-25页
        2.2.2 电化学沉积磁性薄膜的影响因素第25-26页
        2.2.3 仪器和设备第26页
    2.3 软磁薄膜性能的表征方法第26-33页
        2.3.1 研究晶体结构----X射线衍射仪(XRD)第26-28页
        2.3.2 研究表面形貌----扫描电子显微镜(SEM)第28-29页
        2.3.3 研究静态磁性----振动样品磁强计(VSM)第29页
        2.3.4 测量微波磁性----矢量网络分析仪(VNA)第29-30页
        2.3.5 测量元素比例----X射线能量色散谱仪(EDS)第30-31页
        2.3.6 电感耦合等离子发射谱仪(ICP-AES)第31-32页
        2.3.7 激光打标机第32-33页
    参考文献第33-34页
第三章 电沉积FeCoZr薄膜的制备与磁性研究第34-48页
    3.1 实验条件第34-35页
    3.2 溶液配比对薄膜磁性的影响第35-38页
    3.3 在激光刻蚀的ITO衬底上沉积图案化FeCoZr薄膜第38-45页
        3.3.1 ITO衬底的激光处理和电沉积条件第38-39页
        3.3.2 条纹方向与外加磁场平行时FeCoZr薄膜的磁特性第39-41页
        3.3.3 不加外场时条纹阵列的FeCoZr薄膜的磁特性第41-44页
        3.3.4 理论分析第44-45页
    3.4 小结第45-47页
    参考文献第47-48页
第四章 电沉积FeCoCd薄膜的制备与磁性研究第48-61页
    4.1 样品制备条件第48-49页
    4.2 Fe~(2+)、Co~(2+)比对FeCoCd薄膜的影响第49-51页
    4.3 沉积电位对FeCoCd薄膜的影响第51-55页
    4.4 沉积时间对FeCoCd薄膜的影响第55-58页
    4.5 小结第58-60页
    参考文献第60-61页
第五章 电沉积FeCo薄膜第61-68页
    5.1 实验条件第61-62页
    5.2 Cu衬底上以激光刻蚀FeCo薄膜并图案化第62-65页
        5.2.1 激光刻蚀FeCo薄膜并弯曲薄膜第62-63页
        5.2.2 衬底曲率及条纹宽度对薄膜磁性的影响第63-65页
    5.3 PET衬底上以激光刻蚀FeCo薄膜并图案化第65-67页
    参考文献第67-68页
第六章 总结第68-71页
在学期间的研究成果第71-72页
致谢第72页

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