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PZT/CFO层状电磁薄膜材料制备及其力电磁性能鼓包测试表征

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-18页
    1.1 多铁材料简介第10-13页
        1.1.1 多铁材料第10-12页
        1.1.2 磁电效应第12页
        1.1.3 磁电材料的组合方式第12-13页
    1.2 磁电材料的应用第13-14页
    1.3 研究现状第14-16页
    1.4 本文的主要工作第16-18页
第2章 新型多场耦合鼓包测试平台第18-26页
    2.1 鼓包法原理第18页
    2.2 鼓包多功能测试仪器第18-23页
        2.2.1 鼓包力学测试平台第19-21页
        2.2.2 电学加载与测试系统第21-23页
    2.3 磁学加载与测试系统第23-25页
        2.3.1 基于SMOKE原理的磁场测试系统第23-24页
        2.3.2 磁场加载系统第24-25页
    2.4 本章小结第25-26页
第3章 PZT、CFO薄膜的制备及力电性能鼓包测试第26-44页
    3.1 溶胶凝胶法制备PZT薄膜及CFO薄膜第26-30页
        3.1.1 溶胶凝胶法的原理第26-27页
        3.1.2 实验设备第27页
        3.1.3 实验原材料第27-28页
        3.1.4 工艺流程第28-30页
    3.2 PZT、CFO薄膜的结构表征与性能测试第30-34页
        3.2.1 X射线衍射(XRD)第30-31页
        3.2.2 扫描电镜测试(SEM)第31-32页
        3.2.3 电学性能测试第32-33页
        3.2.4 磁学性能测试第33-34页
    3.3 PZT鼓包样品的制备第34-37页
        3.3.1 硅基化学腐蚀第34-35页
        3.3.2 薄膜鼓包试样制备方法及步骤第35-36页
        3.3.3 硅基腐蚀的形貌第36-37页
    3.4 PZT薄膜力电耦合鼓包测试第37-42页
        3.4.1 不同油压下PZT的电学性能测试第37-39页
        3.4.2 不同电压下PZT的力学测试第39-40页
        3.4.3 不同电压下PZT的弹性模量第40-42页
    3.5 本章小结第42-44页
第4章 PZT/CFO薄膜材料制备及电磁性能鼓包测试第44-56页
    4.1 溶胶凝胶法制备PZT/CFO层状电磁薄膜第44-45页
    4.2 PZT薄膜材料的结构表征与性能测试第45-48页
        4.2.1 X射线衍射(XRD)第45-46页
        4.2.2 扫描电镜测试(SEM)第46-47页
        4.2.3 电学性能测试第47-48页
        4.2.4 磁学性能测试第48页
    4.3 PZT/CFO鼓包样品的制备及硅基腐蚀形貌第48-49页
    4.4 PZT/CFO复合薄膜力电和力磁耦合的鼓包测试第49-55页
        4.4.1 不同油压下PZT/CFO的电学测试第50-51页
        4.4.2 不同电场下PZT/CFO的力学测试第51-52页
        4.4.3 不同电场下PZT/CFO的弹性模量第52-53页
        4.4.4 不同磁场下PZT/CFO的力学测试第53-54页
        4.4.5 不同磁场下PZT/CFO的弹性模量第54-55页
    4.5 本章小结第55-56页
第5章 总结与展望第56-58页
    5.1 总结第56页
    5.2 展望第56-58页
参考文献第58-66页
致谢第66-67页
附录A:个人简历、在校期间发表的学术论文与研究成果第67页

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