| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-12页 |
| 1.1 通讯技术进展状况以及WDM | 第9-10页 |
| 1.2 阵列波导光栅发展现状 | 第10-11页 |
| 1.3 本文主要工作 | 第11-12页 |
| 2 硅基波导的模式分析和设计 | 第12-17页 |
| 2.1 波导模式和折射率的求解 | 第12-14页 |
| 2.2 脊形波导的单模条件 | 第14-16页 |
| 2.3 本章小结 | 第16-17页 |
| 3 基于不同厚度SOI的阵列波导光栅 | 第17-39页 |
| 3.1 阵列波导光栅的基本原理 | 第17-22页 |
| 3.2 阵列波导光栅的设计以及优化 | 第22-27页 |
| 3.3 阵列波导光栅的制备 | 第27-31页 |
| 3.4 测试系统 | 第31-33页 |
| 3.5 实验结果分析 | 第33-38页 |
| 3.6 本章小结 | 第38-39页 |
| 4 级联光子晶体环形微腔的设计与制备 | 第39-45页 |
| 4.1 级联光子晶体环形腔的设计 | 第39-41页 |
| 4.2 级联光子晶体环形腔的制备 | 第41-44页 |
| 4.3 本章小结 | 第44-45页 |
| 5 总结与展望 | 第45-46页 |
| 致谢 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-52页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第52页 |