空间卫星激光通信滤光膜的设计与制备
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-11页 |
| 1.1 现代光学薄膜发展及应用 | 第8-9页 |
| 1.2 研究背景及意义 | 第9页 |
| 1.3 论文的主要工作 | 第9-11页 |
| 第二章 薄膜光学理论基础 | 第11-18页 |
| 2.1 薄膜的理论光学特性计算 | 第11-16页 |
| 2.1.1 单层介质薄膜的光学特性计算 | 第11-15页 |
| 2.1.2 多层薄膜的光学特性计算 | 第15-16页 |
| 2.2 有效界面法 | 第16-18页 |
| 第三章 薄膜的理论设计 | 第18-35页 |
| 3.1 薄膜参数要求 | 第18页 |
| 3.2 基底材料的选择 | 第18-19页 |
| 3.3 镀膜材料特性研究 | 第19-20页 |
| 3.4 膜层材料的选取及设计方案优选 | 第20-22页 |
| 3.5 膜料光学常数的获得 | 第22-23页 |
| 3.6 薄膜性能分析 | 第23-24页 |
| 3.7 膜系设计 | 第24-35页 |
| 第四章 薄膜的制备 | 第35-45页 |
| 4.1 镀膜设备简介 | 第35-36页 |
| 4.2 沉积技术研究 | 第36-40页 |
| 4.3 监控方法的研究 | 第40-42页 |
| 4.3.1 光电极值法 | 第40-41页 |
| 4.3.2 石英晶体监控法 | 第41-42页 |
| 4.4 控制精度研究 | 第42页 |
| 4.5 制备工艺 | 第42-45页 |
| 4.5.1 基片的清洗 | 第42-43页 |
| 4.5.2 制备工艺流程 | 第43页 |
| 4.5.3 沉积参数的优化 | 第43-45页 |
| 第五章 测试结果与分析 | 第45-52页 |
| 5.1 薄膜的光谱特性检测与分析 | 第45-51页 |
| 5.2 环境测试 | 第51-52页 |
| 第六章 总结 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
| 读研期间发表的论文 | 第56页 |
