| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第13-27页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第13-14页 |
| 1.2 溅射镀膜技术简介 | 第14-17页 |
| 1.2.1 二极溅射技术 | 第14-15页 |
| 1.2.2 磁控溅射技术 | 第15-17页 |
| 1.3 高功率脉冲磁控溅射技术发展现状 | 第17-24页 |
| 1.3.1 高功率脉冲磁控溅射技术中脉冲波形的研究 | 第17-19页 |
| 1.3.2 高功率脉冲磁控溅射技术中放电机制的研究 | 第19页 |
| 1.3.3 高功率脉冲磁控溅射技术中等离子体的行为 | 第19-22页 |
| 1.3.4 高功率脉冲磁控溅射技术薄膜的制备 | 第22-24页 |
| 1.4 氧化物燃料电池连接体保护涂层研究现状 | 第24-25页 |
| 1.5 主要研究内容 | 第25-27页 |
| 第2章 试验方案及试验方法 | 第27-38页 |
| 2.1 试验设备 | 第27-28页 |
| 2.2 试验方案及设计 | 第28-34页 |
| 2.2.1 技术路线图 | 第28页 |
| 2.2.2 靶材的选取 | 第28-29页 |
| 2.2.3 高功率脉冲放电溅射行为研究 | 第29-31页 |
| 2.2.4 反应溅射行为研究 | 第31页 |
| 2.2.5 高功率脉冲溅射薄膜的制备 | 第31-33页 |
| 2.2.6 与氧化物燃料电池连接体相匹配的阴极制备 | 第33-34页 |
| 2.3 分析方法及其原理简介 | 第34-38页 |
| 2.3.1 等离子体密度的测定 | 第34-36页 |
| 2.3.2 刻蚀环轮廓及形貌的SEM分析 | 第36页 |
| 2.3.3 材料物相及价态分析 | 第36页 |
| 2.3.4 热膨胀系数分析 | 第36页 |
| 2.3.5 薄膜性能分析 | 第36-37页 |
| 2.3.6 电池性能分析 | 第37-38页 |
| 第3章 高功率脉冲二极溅射行为及薄膜沉积 | 第38-63页 |
| 3.1 引言 | 第38页 |
| 3.2 高功率脉冲二极溅射放电特性研究 | 第38-48页 |
| 3.2.1 靶电流及靶功率变化规律研究 | 第38-45页 |
| 3.2.2 基片电流变化规律研究 | 第45-48页 |
| 3.3 高功率脉冲二极溅射中等离子密度研究 | 第48-52页 |
| 3.4 高功率脉冲二极溅射Cu薄膜的制备 | 第52-56页 |
| 3.5 高功率脉冲二极溅射薄膜生长机制的研究 | 第56-62页 |
| 3.6 本章小结 | 第62-63页 |
| 第4章 高功率脉冲磁控溅射行为 | 第63-121页 |
| 4.1 引言 | 第63页 |
| 4.2 高功率脉冲磁控溅射放电特性研究 | 第63-74页 |
| 4.3 高功率脉冲磁控溅射靶表面溅射行为研究 | 第74-85页 |
| 4.4 高功率脉冲磁控溅射制备燃料电池连接体表面保护膜的组织结构研究 | 第85-99页 |
| 4.4.1 高功率脉冲磁控溅射制备工艺对保护膜沉积速率的影响 | 第85-86页 |
| 4.4.2 高功率脉冲磁控溅射制备工艺对保护膜物相的影响 | 第86-91页 |
| 4.4.3 高功率脉冲磁控溅射制备工艺对保护膜形貌的影响 | 第91-99页 |
| 4.5 高功率脉冲磁控溅射制备燃料电池连接体保护膜的性能研究 | 第99-118页 |
| 4.5.1 高功率脉冲磁控溅射工艺参数对保护膜面电阻影响 | 第99-101页 |
| 4.5.2 高功率脉冲磁控溅射工艺参数对连接体保护膜阻Cr性能的影响 | 第101-107页 |
| 4.5.3 与高功率脉冲磁控溅射制备燃料电池连接体保护膜匹配阴极的性能研究 | 第107-116页 |
| 4.5.4 采用高功率脉冲磁控溅射制备保护涂层的连接体与阴极封装性能测试 | 第116-118页 |
| 4.6 高功率脉冲磁控溅射中溅射行为及对薄膜的影响分析 | 第118-119页 |
| 4.7 本章小结 | 第119-121页 |
| 第5章 高功率脉冲反应磁控溅射行为及Ti N薄膜沉积 | 第121-144页 |
| 5.1 引言 | 第121页 |
| 5.2 高功率脉冲反应溅射靶表面放电特性研究 | 第121-124页 |
| 5.3 高功率脉冲反应溅射靶表面溅射行为研究 | 第124-133页 |
| 5.4 高功率脉冲反应溅射工艺对沉积Ti N薄膜的组织结构与性能影响 | 第133-141页 |
| 5.4.1 高功率脉冲反应溅射工艺对沉积Ti N薄膜的组织结构的影响 | 第133-137页 |
| 5.4.2 高功率脉冲反应溅射工艺对沉积Ti N薄膜的性能的影响 | 第137-141页 |
| 5.5 高功率脉冲反应溅射中溅射行为及对薄膜的影响分析 | 第141-142页 |
| 5.6 本章小结 | 第142-144页 |
| 结论 | 第144-146页 |
| 参考文献 | 第146-158页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第158-161页 |
| 致谢 | 第161-162页 |
| 个人简历 | 第162页 |
