| 摘要 | 第7-10页 |
| Abstract | 第10-12页 |
| 第一章 绪论 | 第13-41页 |
| 1.1 光通信的发展历史 | 第13-14页 |
| 1.2 半导体激光器的发展历史及分类 | 第14-16页 |
| 1.3 光通信系统中常用的半导体激光器简介 | 第16-27页 |
| 1.3.1 法布里—泊罗激光器(FP—LD) | 第16-19页 |
| 1.3.2 垂直腔面发射激光器(VCSEL—LD) | 第19-20页 |
| 1.3.3 分布反馈式激光器(DFB—LD) | 第20-24页 |
| 1.3.4 分布反射式激光器(DBR—LD) | 第24-26页 |
| 1.3.5 基于MEMS的外腔激光器(EC—LD) | 第26-27页 |
| 1.4 WDM技术简介 | 第27-29页 |
| 1.5 光子集成技术 | 第29-31页 |
| 1.6 本论文研究的目的和主要内容 | 第31-33页 |
| 参考文献 | 第33-41页 |
| 第二章 波导光栅以及重构—等效啁啾技术 | 第41-58页 |
| 2.1 波导光栅 | 第41-42页 |
| 2.2 啁啾波导光栅 | 第42-44页 |
| 2.3 相移波导光栅 | 第44-46页 |
| 2.4 取样布拉格光栅 | 第46-48页 |
| 2.5 等效啁啾光栅 | 第48-50页 |
| 2.6 等效相移光栅 | 第50-52页 |
| 2.7 重构—等效啁啾技术 | 第52-54页 |
| 2.8 本章小结 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 第三章 基于REC技术的DFB半导体激光器仿真研究理论 | 第58-72页 |
| 3.1 引言 | 第58页 |
| 3.2 耦合模理论 | 第58-64页 |
| 3.3 传输矩阵理论 | 第64-67页 |
| 3.4 本章小结 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 第四章 基于REC技术的1.3μm DFB半导体激光器及阵列研究 | 第72-112页 |
| 4.1 基于REC技术的1.3μm DFB半导体激光器基本原理 | 第72-74页 |
| 4.2 基于REC技术的1.3μm DFB半导体激光器制作流程 | 第74-76页 |
| 4.2.1 一次外延片结构 | 第74-75页 |
| 4.2.2 取样光栅制作 | 第75-76页 |
| 4.3 基于REC技术的1.3μm DFB半导体激光器仿真研究 | 第76-79页 |
| 4.4 基于REC技术的1.3μm特殊结构DFB半导体激光器 | 第79-93页 |
| 4.4.1 1.3μmλ/8等效相移DFB半导体激光器 | 第80-86页 |
| 4.4.1.1 λ/8相移DFB半导体激光器 | 第80-81页 |
| 4.4.1.2 等效λ/8相移DFB半导体激光器 | 第81-86页 |
| 4.4.2 1.3μm等效三相移(3PS)DFB半导体激光器 | 第86-90页 |
| 4.4.2.1 3PS DFB半导体激光器 | 第86-87页 |
| 4.4.2.2 等效3PS DFB半导体激光器 | 第87-90页 |
| 4.4.3 1.3μm等效非对称相移(APS)DFB半导体激光器 | 第90-93页 |
| 4.4.3.1 APS DFB半导体激光器 | 第90页 |
| 4.4.3.2 等效APS DFB半导体激光器 | 第90-93页 |
| 4.5 基于REC技术的1.3μm DFB半导体激光器阵列 | 第93-103页 |
| 4.5.1 等效λ/4相移DFB半导体激光器阵列 | 第93-99页 |
| 4.5.2 等效λ/8相移DFB半导体激光器阵列 | 第99-100页 |
| 4.5.3 等效3PS DFB半导体激光器阵列 | 第100-103页 |
| 4.6 基于REC技术的1.3μm DFB半导体激光器调制以及传输特性 | 第103-107页 |
| 4.7 本章小结 | 第107-109页 |
| 参考文献 | 第109-112页 |
| 第五章 基于REC技术的DFB半导体激光器后续工艺研究 | 第112-122页 |
| 5.1 后续工艺 | 第112-118页 |
| 5.1.1 外延片清洗 | 第112页 |
| 5.1.2 光刻 | 第112-113页 |
| 5.1.3 脊波导刻蚀 | 第113-116页 |
| 5.1.4 SiO_2开窗 | 第116-117页 |
| 5.1.5 正面电极 | 第117-118页 |
| 5.1.6 背面减薄及背面电极 | 第118页 |
| 5.1.7 退火、解理及镀膜 | 第118页 |
| 5.2 测试结果 | 第118-119页 |
| 5.3 本章小结 | 第119-120页 |
| 参考文献 | 第120-122页 |
| 第六章 结论与展望 | 第122-126页 |
| 6.1 结论 | 第122-123页 |
| 6.2 展望 | 第123-126页 |
| 博士期间发表成果 | 第126-128页 |
| 致谢 | 第128-130页 |
