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碳化硅晶体表面原子解离和吸附行为的第一性原理研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 引言第9-20页
    1.1 研究背景与意义第9-11页
    1.2 石墨烯的介绍第11-14页
    1.3 SiC的介绍第14-18页
    1.4 本文主要的研究内容第18-20页
第2章 研究方法介绍第20-26页
    2.1 第一原理方法介绍第20-21页
    2.2 密度泛函理论第21-24页
        2.2.1 Kohn-Sham(沈吕九)方程第21-22页
        2.2.2 局域密度泛函近似(LDA)第22-23页
        2.2.3 广义梯度近似(GGA)第23-24页
        2.2.4 赝势第24页
    2.3 VASP软件简介第24-25页
    2.4 能量计算公式第25-26页
第3章 6H-SiC表面原子解离和吸附行为第26-38页
    3.1 引言第26-28页
    3.2 6H-SiC(000-1)表面原子解离行为第28-32页
        3.2.1 计算模型第28-29页
        3.2.2 结果与讨论第29-32页
    3.3 6H-SiC(000-1)表面原子吸附行为第32-36页
        3.3.1 计算模型第33页
        3.3.2 C原子吸附在不同表面(ideal、V_C、V_(C-Si)和V_(C-Si-Si))第33-35页
        3.3.3 Si原子吸附在不同表面(ideal、V_C、V_(C-Si)和V_(C-Si-Si))第35-36页
    3.4 本章结论第36-38页
第4章 Si原子在SiC和石墨烯层边界处的扩散行为第38-49页
    4.1 引言第38页
    4.2 Si原子在SiC(C面)和石墨烯层边界处的扩散行为第38-43页
        4.2.1 计算模型第39-40页
        4.2.2 结果与讨论第40-43页
            1) 通过完整石墨烯层第40-42页
            2) 通过空位缺陷石墨烯层第42-43页
    4.3 Si原子在SiC(Si面)和石墨烯层边界处的扩散行为第43-47页
        4.3.1 计算模型第44-45页
        4.3.2 结果与讨论第45-47页
            1) 通过完整石墨烯层第45-46页
            2) 通过空位缺陷石墨烯层第46-47页
    4.4 本章结论第47-49页
第5章 总结与展望第49-51页
    5.1 论文总结第49-50页
    5.2 工作展望第50-51页
参考文献第51-54页
致谢第54-55页
个人简历、在学期间完成的论文和科研情况第55页

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