| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 氢气传感器的分类 | 第11-17页 |
| 1.2.1 电化学型氢气传感器 | 第11-14页 |
| 1.2.2 光纤型氢气传感器 | 第14-15页 |
| 1.2.3 热导型氢气传感器 | 第15-16页 |
| 1.2.4 其它类型氢气传感器 | 第16-17页 |
| 1.3 基于TiO_2纳米管的氢气传感器研究现状 | 第17-21页 |
| 1.4 本论文的研究意义及主要内容 | 第21-23页 |
| 第二章 基本原理及实验方法 | 第23-31页 |
| 2.1 实验材料及仪器 | 第23-24页 |
| 2.2 实验原理 | 第24-27页 |
| 2.2.1 TiO_2纳米管阵列的阳极氧化生长机理 | 第24-25页 |
| 2.2.2 直流磁控溅射原理 | 第25-26页 |
| 2.2.3 原子层沉积技术的原理 | 第26-27页 |
| 2.3 物理性质的表征方法 | 第27-29页 |
| 2.3.1 形貌和晶相构成分析 | 第27-28页 |
| 2.3.2 氢气传感器性能的检测装置 | 第28页 |
| 2.3.3 氢气传感器性能的测试流程和参数 | 第28-29页 |
| 2.4 技术路线 | 第29-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 TiO_2纳米管阵列的可控制备 | 第31-39页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 实验部分 | 第31-32页 |
| 3.2.1 阳极氧化法制备TiO_2纳米管阵列 | 第31-32页 |
| 3.2.2 TiO_2纳米管阵列的退火处理 | 第32页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第32-38页 |
| 3.3.1 电解液水含量对TiO_2纳米管阵列的形貌影响 | 第32-36页 |
| 3.3.2 退火对TiO_2纳米管晶向的影响 | 第36-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 复合结构氢气传感器的制备和表征 | 第39-51页 |
| 4.1 引言 | 第39页 |
| 4.2 复合结构氢气传感器的氢敏特性研究 | 第39-45页 |
| 4.2.1 复合结构氢气传感器的制备 | 第39-40页 |
| 4.2.2 气氛退火对复合结构氢气传感器性能的影响 | 第40-41页 |
| 4.2.3 TiO_2纳米管表面形貌对复合结构氢气传感器性能的影响 | 第41-44页 |
| 4.2.4 复合结构氢气传感器的稳定性测试 | 第44-45页 |
| 4.3 Pd纳米环/TiO_2纳米管复合结构氢气传感器的机理探究 | 第45-49页 |
| 4.3.1 氢气传感器的催化反应机理 | 第45-46页 |
| 4.3.2 Pd纳米环/TiO_2纳米管复合结构氢气传感器的机理探究 | 第46-49页 |
| 4.3.2.1 实验部分 | 第46-47页 |
| 4.3.2.2 结果分析 | 第47-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 第五章 柔性氢气传感器的制备 | 第51-57页 |
| 5.1 引言 | 第51页 |
| 5.2 TiO_2纳米管阵列的剥离原理 | 第51-53页 |
| 5.3 实验部分 | 第53-54页 |
| 5.3.1 TiO_2纳米管阵列薄膜的剥离 | 第53-54页 |
| 5.3.2 TiO_2纳米管阵列薄膜的转移 | 第54页 |
| 5.4 柔性氢气传感器的制备和测试 | 第54-56页 |
| 5.4.1 柔性氢气传感器的制备 | 第54-55页 |
| 5.4.2 柔性氢气传感器的测试 | 第55-56页 |
| 5.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第六章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 6.1 总结 | 第57-58页 |
| 6.2 展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第66-67页 |
