基于光场显微成像的微纳阵列三维形貌测量
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·微纳阵列概念及特性 | 第10-12页 |
| ·微纳阵列的应用及前景 | 第12-14页 |
| ·微纳阵列三维形貌测量研究现状 | 第14-19页 |
| ·现有测量方法 | 第14-18页 |
| ·现有测量方法的不足 | 第18页 |
| ·新方法的提出 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第2章 光场成像系统总体方案设计 | 第20-28页 |
| ·光场函数形式选择 | 第20-21页 |
| ·七维全光函数 | 第20页 |
| ·五维光场函数 | 第20-21页 |
| ·四维光场函数 | 第21页 |
| ·光场参数化方法选择 | 第21-23页 |
| ·点--方向参数化 | 第22页 |
| ·球面参数化 | 第22页 |
| ·双平面参数化 | 第22-23页 |
| ·光场采集方式选择 | 第23-27页 |
| ·单相机移动 | 第23-24页 |
| ·相机阵列 | 第24页 |
| ·基于微透镜阵列的光场相机 | 第24-25页 |
| ·基于微透镜阵列的光场显微镜 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 光场显微镜硬件系统设计 | 第28-39页 |
| ·光场显微镜系统概述 | 第28-30页 |
| ·系统设计基础 | 第30-34页 |
| ·显微物镜 | 第30-31页 |
| ·探测器 | 第31-34页 |
| ·微透镜阵列参数设计 | 第34-36页 |
| ·微透镜阵列尺寸 | 第34-35页 |
| ·子透镜口径 | 第35-36页 |
| ·微透镜阵列焦距 | 第36页 |
| ·系统分辨率 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 三维形貌测量软件系统设计 | 第39-50页 |
| ·光场图像预处理 | 第39-40页 |
| ·数字重聚焦获取焦点堆栈 | 第40-47页 |
| ·子图像中心坐标提取 | 第40-42页 |
| ·数字重聚焦 | 第42-47页 |
| ·基于深度信息的三维形貌测量 | 第47-49页 |
| ·常用的深度信息提取方法 | 第47-48页 |
| ·深度信息提取 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 微纳阵列测量实验与结果 | 第50-65页 |
| ·光场显微镜实验系统 | 第50-54页 |
| ·光场显微镜实验系统概述 | 第50-51页 |
| ·实验系统装调校准 | 第51-54页 |
| ·光场图像采集 | 第54-57页 |
| ·待测微纳阵列光场图像采集 | 第54-56页 |
| ·其他光场图像采集 | 第56-57页 |
| ·三维形貌测量 | 第57-61页 |
| ·找子图像中心 | 第57-59页 |
| ·获取焦点堆栈 | 第59-60页 |
| ·三维形貌恢复 | 第60-61页 |
| ·实验结果分析 | 第61-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第6章 误差分析与改进 | 第65-73页 |
| ·实验装置元件加工制造误差 | 第65-66页 |
| ·实验装置装调误差 | 第66-69页 |
| ·微透镜阵列与探测器之间的耦合距离误差 | 第66-67页 |
| ·微透镜阵列与探测器之间的旋转角度误差 | 第67-68页 |
| ·微透镜阵列与探测器之间的倾角误差 | 第68-69页 |
| ·环境误差 | 第69-70页 |
| ·图像处理方法误差 | 第70-72页 |
| ·确定子图像中心坐标误差 | 第70-71页 |
| ·重聚焦图物像深度换算引入误差 | 第71-72页 |
| ·系统分辨率的提高 | 第72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 结论 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
