高频压电振子的振动传递特性及抛光应用研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| ·超声加工概述 | 第9-11页 |
| ·化学机械抛光概述 | 第11-12页 |
| ·超声化学机械复合抛光研究现状 | 第12-18页 |
| ·低频超声化学机械复合抛光 | 第12-17页 |
| ·高频超声化学机械复合抛光 | 第17-18页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第18-19页 |
| 2 高频超声振动抛光原理研究 | 第19-27页 |
| ·高频超声复合抛光原理 | 第19-21页 |
| ·高频超声抛光材料去除机制 | 第21-23页 |
| ·超声波能量特性 | 第23-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 高频超声圆片压电振子振动分析 | 第27-40页 |
| ·压电振子 | 第27-32页 |
| ·压电效应 | 第27-28页 |
| ·压电方程 | 第28-30页 |
| ·压电振子振动模式 | 第30-31页 |
| ·压电振子分类 | 第31-32页 |
| ·圆片压电振子振动模态的 ANSYS 模拟分析 | 第32-34页 |
| ·高频超声压电振子模态实验分析 | 第34-39页 |
| ·高频超声圆片压电振子空载振幅测试 | 第35-37页 |
| ·高频超声圆片压电振子液体载荷工况下的振幅测试 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 高频超声传递特性及抛光系统组成 | 第40-53页 |
| ·超声波传播特性 | 第40-45页 |
| ·高频超声的波型及其波动方程 | 第40-41页 |
| ·高频超声透射特性 | 第41-45页 |
| ·高频超声抛光系统 | 第45-49页 |
| ·超声振动附加系统 | 第45-48页 |
| ·抛光机与抛光实验系统 | 第48-49页 |
| ·高频超声抛光系统振动传递特性检测 | 第49-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 5 高频超声振动抛光实验研究 | 第53-60页 |
| ·实验系统参数的设定 | 第53-54页 |
| ·高频超声抛光实验 | 第54-57页 |
| ·抛光后硅片测试方法及结果分析 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 6 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 攻读硕士期间发表学术论文情况 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
