沉积条件对低温各向同性热解炭微观结构的影响
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-28页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·热解炭材料的化学气相沉积（CVD） | 第11-14页 |
| ·化学气相沉积工艺 | 第11-12页 |
| ·化学气相沉积的主要影响参数 | 第12-14页 |
| ·热解炭材料的微观结构 | 第14-20页 |
| ·炭材料 | 第14页 |
| ·炭材料和石墨的晶体结构 | 第14-16页 |
| ·热解炭的微观结构 | 第16-17页 |
| ·热解炭的表征与分类 | 第17-20页 |
| ·热解炭材料的沉积机理 | 第20-22页 |
| ·选题的目的与意义 | 第22-25页 |
| ·人工机械心瓣 | 第22-24页 |
| ·低温各向同性热解炭 | 第24-25页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第25-28页 |
| 第2章 样品制备与实验方法 | 第28-34页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·热解炭涂层制备 | 第28-30页 |
| ·稳态 FBCVD 反应装置 | 第28-29页 |
| ·LTIC 的制备工艺流程 | 第29页 |
| ·沉积工艺参数 | 第29-30页 |
| ·样品的检测与分析 | 第30-34页 |
| ·表观密度 | 第30-31页 |
| ·X 射线衍射分析（XRD） | 第31页 |
| ·扫描电镜分析（SEM） | 第31-32页 |
| ·透射电镜分析（TEM） | 第32-34页 |
| 第3章 沉积条件对 LTIC 形貌的影响 | 第34-44页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·LTIC 的微观组织结构 | 第34-37页 |
| ·X-ray 衍射分析 | 第34-35页 |
| ·扫描电镜分析 | 第35-36页 |
| ·透射电镜分析 | 第36-37页 |
| ·偏光显微镜分析 | 第37页 |
| ·LTIC 类球形颗粒的内部结构 | 第37-39页 |
| ·LTIC 的密度分布 | 第39页 |
| ·沉积条件对 LTIC 断面形貌的影响 | 第39-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 沉积条件对 LTIC 织构的影响 | 第44-48页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·沉积条件对 LTIC 织构的影响 | 第44-46页 |
| ·沉积条件对 LTIC 微观结构的影响 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第5章 低温各向同性热解炭的沉积机理 | 第48-54页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·CVD 中气相反应 | 第48-50页 |
| ·均气相化学反应 | 第48-49页 |
| ·气相中形核 | 第49-50页 |
| ·化学气相沉积中的表面反应 | 第50页 |
| ·LTIC 的沉积机理 | 第50-52页 |
| ·沉积温度和丙烷气体浓度的影响 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第6章 总结与展望 | 第54-57页 |
| ·总结 | 第54-55页 |
| ·展望 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 附录 | 第62页 |
