| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 综述 | 第9-21页 |
| ·激光波长测量的研究背景和意义 | 第9页 |
| ·激光波长测量技术国内外研究现状 | 第9-19页 |
| ·基于 Michelson 干涉型波长测量方法 | 第10-11页 |
| ·基于 Fabry-Perot 干涉型波长测量方法 | 第11-14页 |
| ·基于 Fizeau 干涉型波长测量方法 | 第14-16页 |
| ·其它波长测量方法 | 第16-19页 |
| ·论文研究内容及组织结构 | 第19-21页 |
| 第二章 激光波长测量方法与系统设计 | 第21-35页 |
| ·激光波长测量方法 | 第21-28页 |
| ·基于单频正交线偏振光的激光波长测量方法 | 第21-23页 |
| ·基于激光合成波长干涉原理的波长测量方法 | 第23-27页 |
| ·基于激光合成波长干涉原理的波长测量方法的优点 | 第27-28页 |
| ·基于激光合成波长干涉的波长测量系统设计 | 第28-32页 |
| ·波长测量系统设计要求 | 第28页 |
| ·参考激光器 | 第28-29页 |
| ·运动导轨 | 第29-31页 |
| ·光路结构设计 | 第31-32页 |
| ·激光合成波长干涉波长测量系统测量范围 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 激光合成波长干涉波长测量系统非线性误差分析 | 第35-53页 |
| ·偏振分光镜光学性能分析 | 第35-41页 |
| ·薄膜偏振分光镜的基本原理 | 第35-36页 |
| ·多层膜光学特性的计算 | 第36-39页 |
| ·λ/4 规整膜系薄膜偏振分光镜分光性能 | 第39-41页 |
| ·PBS 安装误差对非线性误差的影响 | 第41-51页 |
| ·PBS 安装误差对偏振泄露的影响 | 第41-43页 |
| ·偏振泄露对非线性误差的影响 | 第43-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第四章 测量系统信号处理方法研究 | 第53-59页 |
| ·相位检测系统 DSP 芯片选择 | 第53-54页 |
| ·合成波长过零检测及基于 DSP 的实现 | 第54-55页 |
| ·基于激光合成波长干涉波长测量系统软件设计 | 第55-57页 |
| ·激光波长测量系统 VB 控制程序 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 实验及结果分析 | 第59-77页 |
| ·系统稳定性实验 | 第59-61页 |
| ·固定波长的稳频激光器测量实验 | 第61-70页 |
| ·单波长稳频激光器测量实验（一） | 第62-65页 |
| ·单波长稳频激光器测量实验（二） | 第65-70页 |
| ·可调谐激光器多波长测量实验 | 第70-73页 |
| ·系统测量不确定度分析 | 第73-75页 |
| ·本章小结 | 第75-77页 |
| 第六章 总结与展望 | 第77-79页 |
| ·论文工作总结 | 第77-78页 |
| ·创新点 | 第77页 |
| ·具体工作 | 第77-78页 |
| ·论文展望 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-85页 |