| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1. 绪论 | 第9-14页 |
| ·课题研究背景、来源及研究意义 | 第9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-12页 |
| ·本文的主要研究内容及布局 | 第12-14页 |
| 2. 高精度形状测量仪的总体结构简述 | 第14-18页 |
| ·高精度形状测量仪的总体结构 | 第14-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 3. 多轴驱动控制系统设计 | 第18-29页 |
| ·驱动控制系统的类型分析与选择 | 第18-19页 |
| ·X向和Z向驱动控制系统的研究与设计 | 第19-26页 |
| ·X向和Z向全闭环驱动控制系统的驱动部分 | 第20-23页 |
| ·X向和Z向全闭环驱动控制系统的控制部分 | 第23-26页 |
| ·X向和Z向全闭环驱动控制系统的反馈部分 | 第26页 |
| ·回转工作台驱动控制系统设计 | 第26页 |
| ·多轴驱动控制系统的电源设计 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 4. 光栅位移测量系统设计 | 第29-35页 |
| ·光栅测量系统相关问题研究 | 第29-30页 |
| ·光栅测量的基本工作原理 | 第29-30页 |
| ·光栅测量信号的处理模块 | 第30页 |
| ·接口控制模块 | 第30页 |
| ·光栅测量数据采集系统的构建 | 第30-34页 |
| ·X向和Z向直线光栅尺的选定 | 第30-31页 |
| ·光栅测量读数卡的选定 | 第31-33页 |
| ·光栅尺和光栅读数卡的接口电路 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 5. 测头传感器信号调理系统的设计 | 第35-50页 |
| ·传感器的选定 | 第35-37页 |
| ·传感器的选定 | 第35-37页 |
| ·LVDT传感器的工作原理 | 第37页 |
| ·LVDT传感器信号调理电路的设计 | 第37-45页 |
| ·LVDT传感器的励磁信号电路 | 第38-39页 |
| ·零点电压补偿电路 | 第39-40页 |
| ·前置放大和放大倍率选择电路 | 第40-42页 |
| ·滤波放大电路 | 第42-44页 |
| ·相敏检波解调电路 | 第44-45页 |
| ·电源模块 | 第45-49页 |
| ·双极性直流稳压电源的硬件原理 | 第45-46页 |
| ·双极性直流电源的优化设计和仿真分析 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 6. A/D转换及ISA总线接口电路的设计 | 第50-58页 |
| ·采样/保持控制电路 | 第50-51页 |
| ·A/D转换 | 第51-54页 |
| ·A/D转换器的选择 | 第51-53页 |
| ·基于AD574AJD双极性输入的A/D转换电路设计 | 第53-54页 |
| ·工控机ISA总线接口控制电路 | 第54-57页 |
| ·硬件电路原理 | 第54-55页 |
| ·A/D转换数据采集和ISA总线接口控制电路 | 第55-57页 |
| ·电机控制和ISA总线接口控制电路 | 第57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 7. 结论及展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 附录：攻读硕士学位期间发表的论文和取得的成果 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |