| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第1章 引言 | 第9-23页 |
| ·激光退火技术及其深度控制 | 第9-13页 |
| ·离子注入与传统退火 | 第9-10页 |
| ·激光退火的兴起及研究现状 | 第10-13页 |
| ·激光退火的深度控制 | 第13页 |
| ·异质结晶体管（HBT）技术现状 | 第13-16页 |
| ·HBT及其高频特性 | 第13-15页 |
| ·PN结位置对HBT高频特性的影响 | 第15-16页 |
| ·使用激光退火控制HBT结位置 | 第16页 |
| ·绝缘栅双极晶体管（IGBT）技术现状 | 第16-18页 |
| ·IGBT概述 | 第16-17页 |
| ·激光退火在IGBT背面加工中的应用 | 第17-18页 |
| ·快恢复二极管（FRD）技术现状 | 第18-21页 |
| ·FRD少子寿命控制概述 | 第18-20页 |
| ·局域寿命控制方法 | 第20页 |
| ·激光退火在局域寿命控制中的应用 | 第20-21页 |
| ·论文主要工作 | 第21-22页 |
| ·论文结构安排 | 第22-23页 |
| 第2章 532 nm激光退火设备开发调试及退火工艺试验 | 第23-38页 |
| ·532 nm激光退火设备原理 | 第23-30页 |
| ·光源及调光装置 | 第24-26页 |
| ·功率监测装置 | 第26-27页 |
| ·光路系统 | 第27-28页 |
| ·片台运动系统 | 第28-30页 |
| ·激光退火工艺系列实验 | 第30-37页 |
| ·退火参数及测试方法 | 第30-32页 |
| ·能量密度E0对作用深度的影响 | 第32-33页 |
| ·扫描速度v对作用深度的影响 | 第33-34页 |
| ·扫描重叠次数n对作用深度的影响 | 第34-35页 |
| ·杂质再扩散的评估 | 第35-37页 |
| ·总结 | 第37-38页 |
| 第3章 激光退火工艺热力学仿真 | 第38-54页 |
| ·激光退火热熔化模型 | 第38-39页 |
| ·熔性/亚熔性激光退火过程中杂质扩散的数值模拟 | 第39-53页 |
| ·菲克扩散方程 | 第39-41页 |
| ·激光退火温度场的计算 | 第41-49页 |
| ·杂质再扩散量计算 | 第49-50页 |
| ·仿真结果与实测数据的对比 | 第50-53页 |
| ·总结 | 第53-54页 |
| 第4章 激光退火作用深度控制在FRD制造中的应用 | 第54-59页 |
| ·FRD中的局域寿命控制 | 第54-55页 |
| ·质子缺陷对铂的汲取作用 | 第55-56页 |
| ·FRD制造与测试分析 | 第56-58页 |
| ·总结 | 第58-59页 |
| 第5章 激光退火深度控制在IGBT方面的应用 | 第59-65页 |
| ·IGBT概述 | 第59页 |
| ·532 nm激光对IGBT背面作用深度的衡量 | 第59-61页 |
| ·激光退火对IGBT性能的影响 | 第61-64页 |
| ·总结 | 第64-65页 |
| 第6章 激光退火深度控制在HBT方面的初步探究 | 第65-69页 |
| ·HBT的PN结位置控制 | 第65页 |
| ·使用激光退火控制HBT的PN结位置 | 第65-68页 |
| ·总结 | 第68-69页 |
| 第7章 结论 | 第69-72页 |
| ·工作总结 | 第69-70页 |
| ·主要创新点 | 第70页 |
| ·未来展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 致谢 | 第76-78页 |
| 附录 激光退火温度场计算程序 | 第78-85页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第85页 |