基于MEMS开关的有源可重构频率选择表面的研究与设计
摘要 | 第1-4页 |
ABSTRACT | 第4-9页 |
1 绪论 | 第9-15页 |
·课题背景及意义 | 第9-11页 |
·国内外研究进展 | 第11-13页 |
·本文内容安排 | 第13-15页 |
2 频率选择表面的基本理论 | 第15-30页 |
·频率选择表面的基本概念 | 第15页 |
·频率选择表面的分类及特点 | 第15-23页 |
·按传输特性分类 | 第15-17页 |
·按工作机制分类 | 第17-23页 |
·频率选择表面的特性参数 | 第23-27页 |
·单元形状对FSS传输特性的影响 | 第23-25页 |
·单元大小对FSS传输特性的影响 | 第25页 |
·单元排列和单元间距对FSS传输特性的影响 | 第25-26页 |
·介质加载对FSS传输特性的影响 | 第26-27页 |
·电磁波入射角度和极化方式对FSS传输特性的影响 | 第27页 |
·栅瓣 | 第27-29页 |
·本章小结 | 第29-30页 |
3 MEMS开关的分析与设计 | 第30-43页 |
·RF MEMS开关简介 | 第30-31页 |
·RF MEMS开关的特点 | 第31-32页 |
·RF MEMS开关工作原理 | 第32-37页 |
·金属接触型MEMS开关 | 第33-34页 |
·电容耦合型MEMS开关 | 第34-37页 |
·RF MEMS开关的制作工艺 | 第37-39页 |
·RF MEMS制作工艺 | 第37页 |
·金属接触型MEMS开关的制作工艺 | 第37-38页 |
·电容耦合型MEMS开关的制作工艺 | 第38-39页 |
·用于频率选择表面的MEMS开关的仿真设计 | 第39-42页 |
·悬臂梁式MEMS开关的等效电路 | 第40-41页 |
·MEMS开关的建模与仿真 | 第41-42页 |
·本章小结 | 第42-43页 |
4 带阻跳变式有源可重构频率选择表面 | 第43-59页 |
·带阻跳变式有源可重构FSS方案介绍 | 第43-44页 |
·8-12GHz宽带频率选择表面的设计 | 第44-51页 |
·宽带频率选择表面单元结构 | 第45-46页 |
·单元尺寸与间距对谐振特性的影响 | 第46-49页 |
·加载介质对谐振特性的影响 | 第49-50页 |
·入射角度与极化方式对谐振特性的影响 | 第50-51页 |
·X波段带阻频率选择表面的设计 | 第51-56页 |
·带阻频率选择表面单元结构 | 第51-53页 |
·单元尺寸与间距对谐振特性的影响 | 第53-55页 |
·加载介质对谐振特性的影响 | 第55-56页 |
·入射角度与极化方式对谐振特性的影响 | 第56页 |
·可重构带阻式频率选择表面的设计 | 第56-58页 |
·加载MEMS开关的带通FSS单元结构 | 第57-58页 |
·开关的位置对谐振特性的影响 | 第58页 |
·本章小结 | 第58-59页 |
5 带通跳变式有源可重构频率选择表面 | 第59-71页 |
·带通跳变式有源可重构FSS方案介绍 | 第59页 |
·X波段带通频率选择表面的设计 | 第59-66页 |
·带通频率选择表面单元结构 | 第59-62页 |
·单元尺寸与间距对谐振特性的影响 | 第62-64页 |
·加载介质对谐振特性的影响 | 第64-66页 |
·入射角度与极化方式对谐振特性的影响 | 第66页 |
·可重构带通频率选择表面的设计 | 第66-70页 |
·加载MEMS开关的带通FSS单元结构 | 第67-68页 |
·开关的位置对谐振特性的影响 | 第68-70页 |
·本章小结 | 第70-71页 |
6 方案的选择与实物的加工测试 | 第71-81页 |
·项目方案选择 | 第71-72页 |
·实物加工与测试 | 第72-80页 |
·本章小结 | 第80-81页 |
7 总结与展望 | 第81-82页 |
致谢 | 第82-83页 |
参考文献 | 第83-86页 |
附录 | 第86页 |