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气相法沉积聚四氟乙烯薄膜及其疏水性

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
1 绪论第10-20页
   ·表面润湿性能第10页
   ·超疏水表面的理论基础第10-14页
     ·Young方程第10-11页
     ·Wenzel模型第11-12页
     ·Cassie模型第12页
     ·Wenzel和Cassie-Baxter接触状态的转化第12-13页
     ·滞后角和滚动角第13-14页
   ·超疏水表面第14-15页
   ·超疏水表面的制备方法第15-19页
     ·胶体自组装技术第15页
     ·等离子体处理技术第15-16页
     ·刻蚀技术第16页
     ·溶胶-凝胶法第16-17页
     ·相分离法第17页
     ·气相沉积法第17-18页
     ·静电纺丝法第18页
     ·层层自组装法第18页
     ·其他方法第18-19页
   ·本文的研究目的及内容第19-20页
2 薄膜的制备方法及性能分析第20-26页
   ·EBD法沉积薄膜的原理第20-21页
   ·磁控溅射法沉积薄膜原理第21页
   ·本实验所用镀膜装置第21-22页
   ·气相法沉积薄膜的工艺流程第22-24页
   ·薄膜的表征第24-26页
     ·接触角测量仪第24页
     ·原子力显微镜(AFM)第24页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第24页
     ·傅里叶变换衰减全反射红外光谱仪(ATR-FTIR)第24-25页
     ·紫外-可见分光光度计(UV-Vis)第25-26页
3 低功率电子束蒸发法制备PTFE薄膜第26-42页
   ·引言第26-27页
   ·实验仪器及材料第27页
   ·PTFE薄膜的制备及表征第27-40页
     ·薄膜的FTIR表征第28-29页
     ·刻蚀时间对薄膜的形貌和疏水性能的影响第29-31页
     ·硫酸浓度对薄膜形貌及疏水性能的影响第31-34页
     ·沉积时间对薄膜形貌及疏水性能的影响第34-36页
     ·不同基底对薄膜形貌及疏水性能的影响第36-39页
     ·PTFE薄膜的光学性质第39-40页
   ·本章小节第40-42页
4 铜片及Cu薄膜表面PTFE薄膜的制备及超疏水性第42-58页
   ·引言第42页
   ·本章所用仪器及材料第42页
   ·铜片表面PTFE薄膜的制备及表征第42-48页
     ·草酸溶液浓度对薄膜的形貌及疏水性影响第43-44页
     ·刻蚀时间对薄膜的形貌及疏水性影响第44-46页
     ·沉积时间对薄膜形貌及疏水性的影响第46-48页
   ·Cu膜/PTFE复合膜的制备及表征第48-57页
     ·Cu膜的制备第48-49页
     ·溅射功率对薄膜形貌及性能的影响第49-51页
     ·不同处理方法对薄膜形貌及疏水性的影响第51-53页
     ·电子束沉积时间对薄膜的表面形貌及疏水性的影响第53-57页
   ·本章小节第57-58页
5 Cu片上PE/PTFE复合薄膜的制备及性质分析第58-65页
   ·引言第58页
   ·本章所用仪器及材料第58页
   ·Cu片表面PE/PTFE复合薄膜的制备及表征第58-64页
     ·Cu片基底上PE/PTFE复合薄膜的制备第58-59页
     ·PE薄膜的FTIR表征第59页
     ·PE/PTFE复合膜的FESEM分析第59-60页
     ·紫外照射对复合膜表面接触角的影响第60页
     ·基底处理条件对薄膜表面形貌及接触角的影响第60页
     ·PE层对针尖粘附力的影响第60-63页
     ·PE过渡层存在时粘附力对接触角的影响第63-64页
   ·本章小节第64-65页
全文结论第65-67页
致谢第67-68页
参考文献第68-74页
附录第74页

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