| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-38页 |
| ·CMP技术简介 | 第12-14页 |
| ·CMP浆料 | 第14-24页 |
| ·单一磨料(Single abrasive) | 第16-17页 |
| ·混合磨料(Mixed abrasive) | 第17-18页 |
| ·复合磨料(Composite abrasive) | 第18-24页 |
| ·CMP机理与模型 | 第24-29页 |
| ·CMP连续去除模型 | 第25-27页 |
| ·CMP非连续去除模型 | 第27-29页 |
| ·本课题的研究目的和内容 | 第29-31页 |
| 参考文献 | 第31-38页 |
| 第2章 核壳结构SiO_2/CeO_2复合微球的制备及其微观结构 | 第38-56页 |
| ·引言 | 第38-39页 |
| ·浸渍工艺制备SiO_2/CeO_2复合微球及表征 | 第39-43页 |
| ·实验方法 | 第39-40页 |
| ·材料的表征 | 第40页 |
| ·结果与讨论 | 第40-43页 |
| ·化学原位沉淀工艺制备SiO_2/CeO_2复合微球及表征 | 第43-53页 |
| ·实验方法 | 第43-44页 |
| ·样品的表征 | 第44页 |
| ·结果与讨论 | 第44-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
| 第3章 核壳结构PS/CeO_2复合微球的可控合成及表征 | 第56-82页 |
| ·引言 | 第56-57页 |
| ·PS微球的制备 | 第57-64页 |
| ·实验仪器及试剂 | 第57页 |
| ·工艺过程 | 第57-58页 |
| ·PS微球的表征 | 第58页 |
| ·结果与讨论 | 第58-64页 |
| ·PS/CeO_2复合微球的制备 | 第64-78页 |
| ·实验仪器设备 | 第64页 |
| ·实验药品 | 第64页 |
| ·工艺过程 | 第64-66页 |
| ·复合微球的表征 | 第66页 |
| ·结果与讨论 | 第66-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |
| 第4章 核壳结构PS/CeO_2复合微球弹性模量的AFM测定 | 第82-104页 |
| ·引言 | 第82-83页 |
| ·实验原理 | 第83-90页 |
| ·AFM工作原理 | 第83-86页 |
| ·AFM力曲线的测定及弹性模量的计算 | 第86-90页 |
| ·实验部分 | 第90-91页 |
| ·实验试剂与仪器 | 第90页 |
| ·样品的制备 | 第90页 |
| ·力曲线的测定 | 第90-91页 |
| ·数据处理与计算 | 第91-101页 |
| ·PS微球弹性模量的计算 | 第91-93页 |
| ·PS内核尺寸对复合微球弹性模量的影响 | 第93-98页 |
| ·CeO_2壳厚对复合微球弹性模量的影响 | 第98-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 参考文献 | 第102-104页 |
| 第5章 复合磨料的化学机械抛光特性研究 | 第104-136页 |
| ·引言 | 第104-105页 |
| ·抛光过程及表征 | 第105页 |
| ·结果与讨论 | 第105-132页 |
| ·SiO_2/CeO_2复合磨料的抛光特性 | 第105-114页 |
| ·PS/CeO_2复合磨料的抛光特性 | 第114-132页 |
| ·本章小结 | 第132-133页 |
| 参考文献 | 第133-136页 |
| 第6章 主要结论和创新点 | 第136-139页 |
| 攻读博士学位期间取得的研究成果 | 第139-141页 |
| 致谢 | 第141页 |
