| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-25页 |
| ·太阳能电池材料概述和发展 | 第9-11页 |
| ·柔性有机衬底薄膜太阳能电池发展 | 第11-15页 |
| ·柔性有机衬底薄膜太阳能电池种类 | 第11-13页 |
| ·柔性有机衬底材料 | 第13-14页 |
| ·柔性有机衬底薄膜太阳能电池的制备方法 | 第14-15页 |
| ·硅基柔性太阳能电池结构、组成和发展方向 | 第15-16页 |
| ·微晶硅薄膜及制备方法 | 第16-19页 |
| ·微晶硅薄膜 | 第16-17页 |
| ·微晶硅薄膜的制备方法 | 第17-19页 |
| ·等离子体增强化学气相沉积微晶硅薄膜及发展现状 | 第19-23页 |
| ·等离子体的产生及特性参量简述 | 第19-20页 |
| ·等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的物理及化学过程 | 第20页 |
| ·等离子体化学气相沉积微晶硅薄膜研究现状和存在的问题 | 第20-23页 |
| ·本论文研究意义及内容 | 第23-25页 |
| ·研究的目的及意义 | 第23-24页 |
| ·主要研究内容 | 第24-25页 |
| 第二章 实验装置、薄膜结构表征及性能测试 | 第25-34页 |
| ·等离子体增强化学气相沉积的实验装置 | 第25-27页 |
| ·等离子体产生系统 | 第25-26页 |
| ·真空获得系统 | 第26-27页 |
| ·气路系统 | 第27页 |
| ·冷却系统 | 第27页 |
| ·实验工艺流程 | 第27-28页 |
| ·衬底清洗 | 第27-28页 |
| ·真空获得 | 第28页 |
| ·薄膜沉积 | 第28页 |
| ·沉积薄膜后处理 | 第28页 |
| ·微晶硅薄膜的表征和测试手段 | 第28-34页 |
| ·成分组成分析 | 第28-30页 |
| ·微观结构的分析 | 第30-33页 |
| ·薄膜厚度的测量—表面轮廓仪(台阶仪) | 第33-34页 |
| 第三章 RF-PECVD 沉积本征微晶硅薄膜的工艺参数的影响 | 第34-56页 |
| ·微晶硅薄膜的生长原理 | 第34-36页 |
| ·工艺参数的影响 | 第36-50页 |
| ·衬底温度的影响 | 第36-40页 |
| ·气体比例的影响 | 第40-44页 |
| ·工作压强的影响 | 第44-47页 |
| ·功率密度的影响 | 第47-50页 |
| ·低温沉积微晶硅薄膜 | 第50-52页 |
| ·衬底的影响 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第四章 RF-PECVD 沉积掺杂微晶硅薄膜 | 第56-62页 |
| ·n-type 掺杂 | 第56-59页 |
| ·p-type 掺杂 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 微晶硅薄膜生长的动力学 | 第62-68页 |
| ·概论 | 第62页 |
| ·影响微晶硅薄膜的微结构演变的因素 | 第62-67页 |
| ·晶化率随时间的演化 | 第62-66页 |
| ·薄膜微观形貌随时间的演化 | 第66-67页 |
| ·微晶硅薄膜微结构演变可能机理 | 第67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 结论与展望 | 第68-70页 |
| ·本课题的主要研究成果与结论 | 第68页 |
| ·本论文的创新点 | 第68-69页 |
| ·下一步工作展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
