基于叉指电极的MEMS环境监测传感器关键技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 引言 | 第8-16页 |
| ·问题的提出 | 第8-9页 |
| ·选题背景及意义 | 第9-11页 |
| ·文献综述 | 第11-14页 |
| ·国外研究现状 | 第11-13页 |
| ·国内研究现状 | 第13页 |
| ·发展趋势和动态 | 第13-14页 |
| ·研究方法 | 第14页 |
| ·论文结构安排 | 第14-16页 |
| 第2章 叉指电极传感器的基本原理与参数设计 | 第16-25页 |
| ·基本原理介绍 | 第16-18页 |
| ·叉指电极传感器工作原理 | 第16页 |
| ·电极结构选择 | 第16-18页 |
| ·叉指电极间电阻模型简化计算 | 第18-24页 |
| ·考虑叉指端部尖角影响下的简化计算 | 第18-20页 |
| ·不考虑端部尖角部分影响下的简化计算 | 第20-21页 |
| ·两种阻值计算算法的比较 | 第21-24页 |
| ·叉指电极传感器结构参数的影响分析 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 叉指电极结构的加工工艺流程 | 第25-35页 |
| ·叉指电极结构的工艺流程方案设计 | 第25-27页 |
| ·叉指电极基底材料的选择 | 第25-26页 |
| ·叉指电极结构的制备工艺流程设计 | 第26-27页 |
| ·叉指电极传感器的加工工艺 | 第27-34页 |
| ·衬底选料与清洗 | 第27-28页 |
| ·镀制叉指电极金属层 | 第28-32页 |
| ·紫外光刻 | 第32-33页 |
| ·湿法腐蚀 | 第33-34页 |
| ·叉指电极结构的表征 | 第34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 叉指电极传感器在气体监测中的应用 | 第35-52页 |
| ·基本原理介绍 | 第35-42页 |
| ·电阻式半导体气体传感器的作用原理 | 第36-39页 |
| ·基于 MEMS 技术的气体微传感器 | 第39-41页 |
| ·掺杂二氧化锡薄膜传感器的机理 | 第41-42页 |
| ·气体传感器的设计与制备 | 第42-49页 |
| ·气体传感器结构的设计 | 第42-44页 |
| ·气体敏感材料的制备 | 第44-45页 |
| ·气体传感器的制备 | 第45-46页 |
| ·掩模板图形 | 第46-49页 |
| ·叉指电极气体传感器及测试 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 叉指电极传感器在水体环境监测中的应用 | 第52-58页 |
| ·水体环境监测应用 | 第52-53页 |
| ·大肠杆菌传感器的制备 | 第53-55页 |
| ·试剂和材料 | 第53-54页 |
| ·大肠杆菌生物传感器的制备 | 第54页 |
| ·大肠杆菌生物传感器的分析检测 | 第54-55页 |
| ·大肠杆菌传感器的检测 | 第55-57页 |
| ·大肠杆菌传感器的检测原理 | 第55页 |
| ·叉指电极传感器的检测效果 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第6章 总结与展望 | 第58-60页 |
| ·全文总结 | 第58页 |
| ·工作展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第64页 |
