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铜掺杂氧化锌薄膜的阻变特性和光致发光研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-10页
1 引言第10-24页
   ·ZnO 的结构第11-13页
     ·ZnO 的晶体结构第11-12页
     ·ZnO 的电子能带结构第12页
     ·缺陷的能级第12-13页
     ·缺陷对导电性的影响第13页
   ·氧化亚铜的性质和用途第13-14页
   ·掺杂ZnO 薄膜的研究现状第14页
   ·非易失性阻变存储器的研究进展第14-16页
   ·非易失性阻变存储器的机制第16-20页
     ·导电细丝理论模型第16页
     ·电子强关联效应理论模型第16-17页
     ·空间电荷限制电流理论模型第17页
     ·修饰界面肖特基势垒理论模型第17-18页
     ·畴隧穿模型第18-19页
     ·场致晶体缺陷模型第19-20页
   ·特性本论文的研究内容第20-21页
   ·本论文的研究意义第21-22页
 参考文献第22-24页
2 ZnO 和 ZnO: Cu 薄膜的制备及表征第24-36页
   ·沉积原理第24-26页
     ·PLD 法的反应4 个过程:第24-25页
     ·PLD 方法中影响薄膜生长的因素第25-26页
     ·PLD 方法的特点第26页
   ·ZnO:Cu 陶瓷靶材的制备流程第26-27页
   ·PLD 技术制备ZnO:Cu 薄膜第27-31页
     ·Si 衬底上ZnO:Cu 薄膜的生长第27-28页
     ·Si 衬底上ZnO 薄膜的XRD 图第28-29页
     ·Si 衬底上ZnO:Cu 薄膜的Raman 谱分析第29-31页
   ·Si 衬底XPS 谱第31-32页
   ·石英衬底上生长ZnO 及ZnO:Cu 薄膜第32-34页
     ·石英衬底上ZnO 及ZnO:Cu 薄膜的XRD 图第32-33页
     ·石英衬底上ZnO 及ZnO:Cu 薄膜的透射谱第33-34页
   ·本章小结第34-35页
 参考文献第35-36页
3 Pt 衬底上 ZnO 及 ZnO:Cu 薄膜的光致发光第36-44页
   ·氧化锌的光致发光第36-37页
     ·激子复合发光第36-37页
     ·可见光发光机制(深能级发光)第37页
   ·Pt 衬底上ZnO 及ZnO:Cu 薄膜的XRD 谱第37-38页
   ·Pt 衬底上 ZnO 及 ZnO:Cu 薄膜的光致发光谱第38-40页
   ·本章小结第40-41页
 参考文献第41-44页
4 ZnO 及 ZnO 掺 Cu 为 9%薄膜电阻开关性质第44-53页
   ·引言第44-45页
   ·实验和测试第45-46页
     ·样品的制备第45页
     ·样品的测试第45-46页
   ·结构和形貌第46-51页
   ·本章小结第51-52页
 参考文献第52-53页
致谢第53-54页
攻读学位期间发表的学术论文第54-55页

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