| 中文摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 1 OVERVIEW OF THE DISSERTATION AND BACKGROUND | 第13-46页 |
| ·NANOTECHNOLOGY | 第13-15页 |
| ·SELF-ASSEMBLY | 第15-17页 |
| ·SOL-GEL CHEMISTRY | 第17-20页 |
| ·POROUS MATERIALS | 第20-22页 |
| ·BASIC PRINCIPLE IN GAS SENSING | 第22-29页 |
| ·Types of Gas Sensors | 第22-23页 |
| ·Semiconductor Metal Oxides | 第23-28页 |
| ·Porosity | 第28页 |
| ·Gas Detection in Pd Doped Tin Dioxide Sensors | 第28-29页 |
| ·SUBSTRATES FOR SENSOR DEVICES | 第29-31页 |
| ·Optical Lithography | 第29页 |
| ·Photo Resists | 第29-31页 |
| ·MEASUREMENT SETUP | 第31-40页 |
| ·Design and Fabrication of Sensor Substrates | 第31-33页 |
| ·Cell design 1 | 第33-34页 |
| ·Cell design 2 | 第34-36页 |
| ·Keithley 6517A | 第36-40页 |
| ·REFERENCES | 第40-46页 |
| 2 CHARACTERIZATION | 第46-61页 |
| ·SORPTION | 第46-49页 |
| ·QUARTZ CRYSTAL MICROBALANCE | 第49页 |
| ·ELLIPSOMETRY | 第49-52页 |
| ·ELLIPSOMETRIC POROSIMETRY | 第52-54页 |
| ·X-RAY DIFFRACTION | 第54-59页 |
| ·TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY (TEM) | 第59-60页 |
| ·REFERENCES | 第60-61页 |
| 3 SYNTHESIS AND CHARACTERIZATION OF HIGHLY ORGANIZED MESOPOROUS PALLADIUM DOPED TIN DIOXIDETHIN FILMS FOR GAS SENSING | 第61-94页 |
| ·ABSTRACT | 第61页 |
| ·INTRODUCTION | 第61-63页 |
| ·GENERAL PREPARATION OF PD DOPED SNO_2 THIN FILMS WITH ORDERED MESOSTRUCTURE | 第63-69页 |
| ·Experimental Section | 第63-66页 |
| ·Influence of Synthetic Procedures | 第66-67页 |
| ·Influence of Hydrochloric Acid | 第67-68页 |
| ·Influence of the Humidity during the Spin-coating | 第68-69页 |
| ·FURTHER CHARACTERIZATION OF PD DOPED SNO_2 THIN FILMS WITH ORDERED MESOSTRUCTURE | 第69-80页 |
| ·Physisorption | 第69-71页 |
| ·Electron Microscopy | 第71-73页 |
| ·Film Thickness | 第73-75页 |
| ·XPS | 第75-78页 |
| ·XANES | 第78-80页 |
| ·SENSING BEHAVIOR OF PD DOPED SNO_2 THIN FILMS WITH ORDERED MESOSTRUCTURE | 第80-89页 |
| ·Preliminary Setup for Sensitivity Measurements | 第80页 |
| ·Sensitivity | 第80-81页 |
| ·Gas Sensing at Room Temperature | 第81-82页 |
| ·Influence of Synthetic Procedure | 第82-83页 |
| ·Influence of Relative Humidity during Synthesis on Sensitivity | 第83-84页 |
| ·Influence of the Concentration of HCl on Sensitivity | 第84-85页 |
| ·Influence of Palladium Doping on Sensitivity | 第85-86页 |
| ·The Influence of Other parameters | 第86-89页 |
| ·CONCLUSIONS | 第89-91页 |
| ·REFERENCES | 第91-94页 |
| 4 CRYSTALLINE, NANOPOROUS PT-DOPED TIN DIOXIDE THIN FILMS SYNTHESIZED AT LOW TEMPERATURE FOR SENSOR APPLICATION | 第94-116页 |
| ·INTRODUCTION | 第94-95页 |
| ·GENERAL PREPARATION OF PT DOPED SNO_2 THIN FILMS WITH ORDERED MESOSTRUCTURE | 第95-104页 |
| ·Experimental Section | 第95-96页 |
| ·X-ray Diffraction | 第96-98页 |
| ·The Influence of Dopant Content | 第98-100页 |
| ·The Influence of psHT | 第100页 |
| ·Porosity | 第100-101页 |
| ·TEM Investigation | 第101-102页 |
| ·STEM Investigation | 第102-103页 |
| ·GISAXS | 第103-104页 |
| ·GAS SENSING AT ROOM TEMPERATURE | 第104-112页 |
| ·Stability of Initial Resistance and Reproducibility of Measurements | 第105-107页 |
| ·Influence of Probe Voltage | 第107-108页 |
| ·Influence of Humidity | 第108-110页 |
| ·Resistance Measurements as Means of Proving Crystallinity of the Samples | 第110-111页 |
| ·Selectivity | 第111页 |
| ·Future Challenges | 第111-112页 |
| ·CONCLUSION | 第112-114页 |
| ·REFERENCES | 第114-116页 |
| 5 NANOPOROUS TRANSITIONAL-METAL OXIDE THIN FILMSBY POST-SYNTHETIC HYDROTHERMAL TRANSFORMATION | 第116-137页 |
| ·INTRODUCTION | 第116-118页 |
| ·PREPARATION OF HIGHLY ORDERED NANOPOROUS NIOBIUM OXIDE THIN FILMS | 第118-120页 |
| ·PREPARATION OF HIGHLY ORDERED NANOPOROUS TITANIA THIN FILMS | 第120-122页 |
| ·PREPARATION OF HIGH ORDERED TIN DIOXIDE THIN FILMS | 第122-135页 |
| ·Influence of The Time of psHT | 第123-130页 |
| ·GISAXS | 第130-132页 |
| ·TEM Investigation | 第132-135页 |
| ·REFERENCE | 第135-137页 |
| 6 NANOPOROUS TRANSPARENT CONDUCTING OXIDE THINFILMS BY POST-SYNTHETIC HYDROTHERMALTRANSFORMATION | 第137-175页 |
| ·INTRODUCTION | 第137-138页 |
| ·THEORETICAL PART | 第138-142页 |
| ·Mesoporous Transition Metal Oxides | 第138-140页 |
| ·Porosity | 第140-141页 |
| ·psHT Treatment | 第141-142页 |
| ·RESEARCH TOPIC OF F-PRACTICUM | 第142页 |
| ·EXPERIMENTAL PART | 第142-148页 |
| ·General Procedures | 第143-144页 |
| ·Synthesis of Mesoporous Titania Oxide Thin Films | 第144-145页 |
| ·Synthesis of Mesoporous Cu Doped Tin Oxide Thin Films | 第145-147页 |
| ·Further Preparation of Films | 第147-148页 |
| ·RESULTS AND DISCUSSION | 第148-170页 |
| ·Mesoporous Titanium Dioxide Thin Films | 第148-157页 |
| ·Profilometry Experiments | 第157-158页 |
| ·Cu Doped SnO_2 Thin Films and a Synthesis Approach to CuO-Thin Films | 第158-162页 |
| ·Sb Doped SnO_2 Thin Films and a Synthesis Approach to Sb_2O_3-Thin Films | 第162-170页 |
| ·CONCLUSION AND OUTLOOK | 第170-173页 |
| ·REFERENCES | 第173-175页 |
| 7 CONCLUSIONS AND PERSPECTIVES | 第175-178页 |
| 8 CURRICULUM VITAE | 第178-179页 |
| 9 ACKNOWLEDGEMENTS | 第179页 |