| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·磁性随机存储器工作原理 | 第9-10页 |
| ·磁隧道结 MTJ | 第10-12页 |
| ·MTJ 研究进展及应用 | 第12-15页 |
| ·课题研究意义与目的 | 第15页 |
| ·论文的研究内容及安排 | 第15-17页 |
| 2 TMR 材料选择与制备工艺方法研究 | 第17-30页 |
| ·TMR 材料的选择 | 第17-19页 |
| ·TMR 结构制备方法 | 第19-23页 |
| ·光刻胶及其光刻工艺 | 第23-25页 |
| ·实验设备 | 第25-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 TMR 单元结构设计及制备工艺 | 第30-45页 |
| ·TMR 单元结构设计 | 第30-34页 |
| ·单元制备工艺流程 | 第34-40页 |
| ·单元制备工艺分析 | 第40-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 4 磁随机存储器单元测试结果及分析 | 第45-53页 |
| ·TMR 单元封装 | 第45-48页 |
| ·单元电特性测试 | 第48-50页 |
| ·单元测试结果分析 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 5 总结与展望 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |