| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| ·课题研究背景与意义 | 第7-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-15页 |
| ·XY 定位平台系统研究现状 | 第9-14页 |
| ·高压打火系统研究现状 | 第14-15页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第15-17页 |
| 第二章 XY 定位平台动态设计 | 第17-26页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·XY 定位平台系统的结构组成 | 第17-18页 |
| ·解耦机构的简化动力学模型 | 第18-20页 |
| ·XY 定位平台系统动态设计 | 第20-25页 |
| ·XY 定位平台系统刚弹耦合建模 | 第20-21页 |
| ·XY 定位平台系统机电耦合建模 | 第21-22页 |
| ·XY 定位平台系统动态设计 | 第22-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 基于键合图理论的 XY 定位平台动力学建模与分析 | 第26-45页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·键合图理论 | 第26-27页 |
| ·Y 向定位平台动力学建模 | 第27-36页 |
| ·音圈电机键合图建模 | 第27-29页 |
| ·Y 向定位平台结构建模 | 第29-30页 |
| ·摩擦力建模 | 第30-32页 |
| ·Y 向定位平台机械子系统键合图建模 | 第32-33页 |
| ·Y 向定位平台系统的全局键合图建模 | 第33-36页 |
| ·Y 向定位平台动力学特性分析 | 第36-42页 |
| ·等效弹簧和阻尼器特性分析 | 第37-39页 |
| ·Y 向定位平台频响分析 | 第39-40页 |
| ·Y 向定位平台摩擦力分析 | 第40-42页 |
| ·X 向平台动力学研究 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 基于力补偿的控制器设计与仿真 | 第45-58页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·力补偿的设计思想 | 第45-46页 |
| ·X 向定位系统力补偿控制器设计 | 第46-55页 |
| ·电流闭环设计 | 第46-48页 |
| ·速度闭环设计 | 第48-49页 |
| ·位置闭环设计 | 第49-55页 |
| ·Y 向定位系统力补偿控制器设计 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第五章 XY 定位平台控制系统实现与集成 | 第58-73页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·XY 定位平台控制系统实现与特性实验 | 第58-61页 |
| ·控制系统硬件设计 | 第58-60页 |
| ·伺服驱动反馈控制系统硬件功能特点 | 第60-61页 |
| ·控制系统软件设计 | 第61页 |
| ·XY 定位平台控制系统实验研究 | 第61-70页 |
| ·单轴运动实验 | 第61-65页 |
| ·平台性能实验 | 第65-67页 |
| ·两轴联动实验 | 第67-70页 |
| ·高压打火系统设计 | 第70-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第六章 全文总结以及展望 | 第73-75页 |
| ·全文总结 | 第73-74页 |
| ·展望 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-83页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84页 |