| 中文摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| ·二氧化锡(SnO_2)陶瓷 | 第12-14页 |
| ·氧化锡锑(ATO)陶瓷靶材致密化的研究进展 | 第14-17页 |
| ·ATO粉体的制备方法 | 第14-15页 |
| ·ATO陶瓷的烧结助剂 | 第15-16页 |
| ·ATO陶瓷的制备方法 | 第16-17页 |
| ·氧化锡锑(ATO)陶瓷靶材导电性能的研究进展 | 第17-20页 |
| ·本论文工作的提出及研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 实验与测试 | 第21-31页 |
| ·实验原料与设备 | 第21-24页 |
| ·实验原料 | 第21-23页 |
| ·实验仪器设备 | 第23-24页 |
| ·实验设计方案与工艺路线 | 第24-25页 |
| ·实验设计方案 | 第24页 |
| ·实验工艺路线 | 第24-25页 |
| ·测试与表征方法 | 第25-31页 |
| ·物相组成分析 | 第25-26页 |
| ·微观形貌分析 | 第26页 |
| ·致密度测试 | 第26页 |
| ·化学元素成分分析 | 第26-27页 |
| ·电学性能测试 | 第27-31页 |
| 第三章 氧化锡锑(ATO)陶瓷靶材放电等离子烧结 | 第31-49页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·烧结温度对ATO陶瓷鞭材致密化的影响 | 第31-36页 |
| ·烧结温度对ATO陶瓷靶材物相组成的影响 | 第32-34页 |
| ·烧结温度对ATO陶瓷靶材致密度的影响 | 第34-35页 |
| ·烧结温度对ATO陶瓷靶材微观结构的影响 | 第35-36页 |
| ·升温速率对ATO陶瓷靶材致密化的影响 | 第36-38页 |
| ·升温速率对ATO陶瓷靶材致密度的影响 | 第36-37页 |
| ·升温速率对ATO陶瓷靶材微观结构的影响 | 第37-38页 |
| ·烧结压力对ATO陶瓷靶材致密化的影响 | 第38-40页 |
| ·烧结压力对ATO陶瓷靶材致密度的影响 | 第38-39页 |
| ·烧结压力对ATO陶瓷靶材微观结构的影响 | 第39-40页 |
| ·保温时间对ATO陶瓷靶材致密化的影响 | 第40-44页 |
| ·保温时间对ATO陶瓷靶材烧结曲线的影响 | 第40-41页 |
| ·保温时间对ATO陶瓷靶材致密度的影响 | 第41-42页 |
| ·保温时间对ATO陶瓷靶材微观结构的影响 | 第42-44页 |
| ·Sb掺杂含量对ATO陶瓷靶材致密化的影响 | 第44-47页 |
| ·Sb掺杂含量对ATO陶瓷靶材物相组成的影响 | 第44-45页 |
| ·Sb掺杂含量对ATO陶瓷靶材致密度的影响 | 第45-46页 |
| ·Sb掺杂含量对ATO陶瓷靶材微观结构的影响 | 第46-47页 |
| ·小结 | 第47-49页 |
| 第四章 氧化锡锑(ATO)陶瓷靶材的退火处理 | 第49-56页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·退火温度对ATO陶瓷靶材致密化的影响 | 第49-52页 |
| ·退火温度对ATO陶瓷靶材物相组成的影响 | 第49-50页 |
| ·退火温度对ATO陶瓷靶材致密度的影响 | 第50-51页 |
| ·退火温度对ATO陶瓷靶材微观结构的影响 | 第51-52页 |
| ·退火时间对ATO陶瓷靶材致密化的影响 | 第52-54页 |
| ·退火时间对ATO陶瓷靶材物相组成的影响 | 第52-53页 |
| ·退火时间对ATO陶瓷靶材致密度的影响 | 第53页 |
| ·退火时间对ATO陶瓷靶材微观结构的影响 | 第53-54页 |
| ·小结 | 第54-56页 |
| 第五章 氧化锡锑(ATO)陶瓷靶材的导电性能与导电机理 | 第56-68页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·结构、组成对氧化锡锑陶瓷靶材导电性能的影响 | 第56-61页 |
| ·Sb掺杂含量的影响 | 第56-57页 |
| ·Sb~(5+)/Sb~(3+)比例的影响 | 第57-59页 |
| ·致密度的影响 | 第59-60页 |
| ·微观结构的影响 | 第60-61页 |
| ·退火处理对氧化锡锑陶瓷靶材导电性能的影响 | 第61-65页 |
| ·退火处理后Sb掺杂含量的影响 | 第61-62页 |
| ·退火处理后Sb~(5+)/Sb~(3+)比例的影响 | 第62-63页 |
| ·退火处理后致密度的影响 | 第63-64页 |
| ·退火处理后微观结构的影响 | 第64-65页 |
| ·氧化锡锑陶瓷靶材导电机理的研究 | 第65-66页 |
| ·小结 | 第66-68页 |
| 第六章 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及申请专利情况 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |