| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·钛合金的结构、性能与应用 | 第9-14页 |
| ·钛合金的结构和分类 | 第9-11页 |
| ·钛及其合金的性能 | 第11-12页 |
| ·钛合金的应用领域 | 第12-14页 |
| ·存在的问题 | 第14页 |
| ·金刚石薄膜的优异性能及应用领域 | 第14-16页 |
| ·人工合成金刚石的发展概况 | 第16-18页 |
| ·金刚石薄膜的制备方法 | 第18-21页 |
| ·热丝化学气相沉积法 | 第18页 |
| ·微波等离子体化学气相沉积法 | 第18-19页 |
| ·火焰燃烧法 | 第19-21页 |
| ·射频等离子体辅助化学气相沉积 | 第21页 |
| ·本课题的研究内容和意义 | 第21-23页 |
| 第二章 实验原理与实验方法 | 第23-32页 |
| ·实验设备简介 | 第23-24页 |
| ·热丝反应系统 | 第23页 |
| ·真空系统 | 第23-24页 |
| ·温度与气压监测系统 | 第24页 |
| ·气体控制系统 | 第24页 |
| ·薄膜样品的制备与工艺流程 | 第24-26页 |
| ·实验原材料 | 第24页 |
| ·样品预处理 | 第24-25页 |
| ·热丝预处理 | 第25页 |
| ·实验流程 | 第25-26页 |
| ·性能检测 | 第26-32页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第26页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第26-28页 |
| ·激光拉曼光谱(Raman) | 第28-29页 |
| ·原子力电子显微镜(AFM) | 第29页 |
| ·结合强度测定 | 第29-32页 |
| 第三章 钛合金上Diamond/TiC复合层的制备 | 第32-47页 |
| ·沉积工艺参数的探索 | 第32-35页 |
| ·基体温度对金刚石薄膜表面形貌的影响 | 第33页 |
| ·基体温度对金刚石薄膜质量的影响 | 第33-35页 |
| ·Diamond/TiC复合层的制备 | 第35-46页 |
| ·TiC过渡层的制备 | 第36-37页 |
| ·TiC过渡层的表征 | 第37-41页 |
| ·金刚石薄膜的制备 | 第41-42页 |
| ·金刚石薄膜的表征 | 第42-45页 |
| ·TiC过渡层对金刚石薄膜结合强度的影响 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 基体梯度降温法沉积金刚石薄膜的研究 | 第47-63页 |
| ·温度对金刚石形核的影响 | 第48-50页 |
| ·温度对金刚石薄膜生长的影响 | 第50-55页 |
| ·温度对金刚石膜表面形貌的影响 | 第50-52页 |
| ·温度对金刚石膜品质的影响 | 第52-53页 |
| ·温度对金刚石薄膜与基体界面的影响 | 第53-54页 |
| ·温度对金刚石薄膜结合强度的影响 | 第54-55页 |
| ·甲烷浓度对钛合金上金刚石薄膜的影响 | 第55-58页 |
| ·甲烷浓度对金刚石薄膜表面形貌的影响 | 第55-57页 |
| ·甲烷浓度对金刚石薄膜成分的影响 | 第57-58页 |
| ·热丝距离对钛合金上金刚石薄膜的影响 | 第58-61页 |
| ·热丝距离对金刚石薄膜表面形貌的影响 | 第59-60页 |
| ·热丝距离对金刚石薄膜质量的影响 | 第60-61页 |
| ·热丝距离对金刚石薄膜结合强度的影响 | 第61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第五章 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 攻读学位期间主要的研究成果 | 第72页 |