大功率射频激光电源的仿真设计

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-14页
·射频电源的发展过程	第9-10页
·射频激励技术	第10-11页
·射频激励CO_2激光器国内外研究状况	第11-12页
·本文的主要内容和意义	第12-14页
2 射频电源结构设计及元件选择	第14-27页
·射频电源原理及组成	第14-15页
·射频电源技术参数及元件选择	第15-20页
·射频电路工作参数的确定	第20-26页
·本章小结	第26-27页
3 射频电源电路仿真	第27-38页
·射频仿真软件ADS介绍	第27-28页
·射频电源电路仿真分析	第28-36页
·本章小结	第36-38页
4 阻抗匹配网络设计	第38-50页
·阻抗匹配的原理和基本要求	第38-39页
·阻抗匹配网络的选择	第39-44页
·阻抗匹配网络的设计和计算	第44-49页
·本章小结	第49-50页
5 射频电源假负载系统设计	第50-57页
·无感电阻假负载系统	第50-52页
·无感电阻假负载的冷却	第52-55页
·假负载系统的功率馈入和冷却实验	第55-56页
·本章小结	第56-57页
6 全文总结	第57-59页
致谢	第59-60页
参考文献	第60-62页