| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 文献综述 | 第9-24页 |
| ·介质阻挡放电DBD | 第9-13页 |
| ·类金刚石薄膜 | 第13-19页 |
| ·大气压DBD 放电等离子体光学发射光谱诊断的研究现状 | 第19-20页 |
| ·本文的选题研究背景 | 第20-21页 |
| 参考文献 | 第21-24页 |
| 第二章 实验装置及相关实验方法简介 | 第24-39页 |
| ·DLC 薄膜制备实验 | 第24-27页 |
| ·光学发射光谱诊断实验 | 第27-35页 |
| ·电学性能测量 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36页 |
| 参考文献 | 第36-39页 |
| 第三章 纳米DLC 薄膜的制备及其在线光谱诊断 | 第39-50页 |
| ·傅立叶红外光谱 | 第40-41页 |
| ·激光拉曼光谱分析 | 第41-42页 |
| ·表面形貌分析 | 第42-43页 |
| ·摩擦性能分析 | 第43-44页 |
| ·沉积过程OES 在线诊断 | 第44-47页 |
| ·DLC 薄膜沉积机理讨论 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-50页 |
| 第四章 大气压等离子体枪发射光谱诊断 | 第50-73页 |
| ·电子激发温度 | 第50-57页 |
| ·电子密度 | 第57-65页 |
| ·振动温度 | 第65-67页 |
| ·纯CH_4 光谱 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 第五章 大气压 DBD 等离子体枪的电学性能测量 | 第73-84页 |
| ·电流-电压波形 | 第73-75页 |
| ·大气压 DBD 放电 LISSAJOUS 图形 | 第75-79页 |
| ·电流-电压曲线 | 第79-82页 |
| ·本章小结 | 第82页 |
| 参考文献 | 第82-84页 |
| 第六章 总结与展望 | 第84-86页 |
| ·本文主要研究成果与结论 | 第84-85页 |
| ·进一步工作的展望 | 第85页 |
| ·本文的创新之处 | 第85-86页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87页 |