环境扫描电镜环境研究及原位观察分析
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| ·环境扫描电镜（ESEM）的发展 | 第10-14页 |
| ·ESEM 工作原理及构造 | 第10-13页 |
| ·ESEM 原位分析现状 | 第13-14页 |
| ·本文研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 ESEM 原位实验平台的构建 | 第16-24页 |
| ·加热装置 | 第16-18页 |
| ·第一种加热台的设计与制造 | 第16-17页 |
| ·第二种加热台的改装设计 | 第17-18页 |
| ·加电装置 | 第18页 |
| ·气体微注入装置 | 第18-20页 |
| ·样品电流测试装置 | 第20-22页 |
| ·实验装置组合与综合利用 | 第22页 |
| ·本章小结 | 第22-24页 |
| 第3章 ESEM 环境研究 | 第24-42页 |
| ·电子－气体－样品的相互作用 | 第24-35页 |
| ·电子散射计算 | 第24-27页 |
| ·电子散射的Monte Carlo 模拟 | 第27-34页 |
| ·电子散射的实验测试 | 第34-35页 |
| ·电荷环境的测量与评价 | 第35-39页 |
| ·电荷环境测量方法 | 第36页 |
| ·电荷环境测量结果 | 第36-39页 |
| ·本章小结 | 第39-42页 |
| 第4章 ZnO 纳米线原位生长 | 第42-52页 |
| ·实验装置与实验环境 | 第42-43页 |
| ·ZnO 纳米线的ESEM 原位生长实验 | 第43-48页 |
| ·ZnO 纳米材料原位生长方法探讨 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第5章 Al 互连线电迁徙失效原位分析 | 第52-66页 |
| ·实验设计与观察 | 第52-60页 |
| ·实验原理及实验平台 | 第52-55页 |
| ·实验观察与分析 | 第55-60页 |
| ·失效机制综合分析 | 第60-64页 |
| ·电迁徙扩散系数计算 | 第60-61页 |
| ·电迁徙综合作用 | 第61-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 第6章 绝缘陶瓷样品原位加热消除荷电 | 第66-88页 |
| ·实验装置及实验样品 | 第66-69页 |
| ·原位加热装置及实验参数 | 第66页 |
| ·样品电流ISP 测试原理 | 第66-68页 |
| ·实验样品 | 第68-69页 |
| ·加热消除荷电的原位观察 | 第69-84页 |
| ·多晶Al_2O_3 | 第69-77页 |
| ·单晶Al_2O_3 | 第77-79页 |
| ·单晶YAG | 第79-81页 |
| ·非透明多晶YAG | 第81-84页 |
| ·半透明多晶YAG | 第84页 |
| ·加热消除荷电机制探讨 | 第84-86页 |
| ·本章小结 | 第86-88页 |
| 结论 | 第88-92页 |
| 附录 | 第92-98页 |
| 参考文献 | 第98-102页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第102-104页 |
| 致谢 | 第104页 |
