电流变效应微磨头研抛加工研究及电磁流变微细加工实验装置研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| Contents | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| ·课题的研究背景 | 第11-14页 |
| ·微电子机械系统的发展 | 第11-12页 |
| ·微构件的加工需求 | 第12页 |
| ·光学曲面的加工需求 | 第12-13页 |
| ·基于电磁流变效应即效亚毫米微磨头微细加工新方法 | 第13-14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-17页 |
| ·电流变液材料及用于精密加工的研究进展 | 第14-15页 |
| ·非球面镜加工技术的国内外研究现状 | 第15-17页 |
| ·本课题的来源与主要研究内容 | 第17-19页 |
| ·课题的来源 | 第17页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第17-19页 |
| 第二章 电流变液性能分析及电流变效应微磨头的仿真 | 第19-35页 |
| ·电流变液 | 第19-20页 |
| ·电流变效应的机理 | 第20-23页 |
| ·电流变效应的理论 | 第23-25页 |
| ·电流变效应精细研抛加工原理 | 第25-31页 |
| ·电流变效应即效微磨头的仿真分析 | 第31-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 新型电流变液制备和工具电极耐磨性研究 | 第35-44页 |
| ·新型电流变液的制备 | 第35-36页 |
| ·实验装置 | 第36-38页 |
| ·实验参数的选择及实验方案的设计 | 第38页 |
| ·实验结果分析 | 第38-43页 |
| ·锥状工具电极材料的影响 | 第39-41页 |
| ·电流变液组分的影响 | 第41-42页 |
| ·电流变效应即效微磨头加工痕迹的形状特点 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 电磁流变效应微细加工实验装置研制 | 第44-63页 |
| ·电磁流变效应微细加工实验装置的功能要求 | 第44-49页 |
| ·总体设计方案 | 第49页 |
| ·进给机构 | 第49-52页 |
| ·水平运动进给机构 | 第49-51页 |
| ·Z轴进给机构 | 第51-52页 |
| ·旋转主轴 | 第52-53页 |
| ·电磁场施加装置 | 第53-55页 |
| ·回转工作台 | 第55-56页 |
| ·装置机架 | 第56页 |
| ·装置控制系统 | 第56-61页 |
| ·装备的性能参数 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 研究结论与展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
