| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1.文献综述 | 第9-24页 |
| ·类金刚石膜简介 | 第9页 |
| ·类金刚石膜的结构 | 第9-10页 |
| ·类金刚石薄膜的性能和应用 | 第10-14页 |
| ·类金刚石膜性能 | 第11-12页 |
| ·类金刚石膜的应用 | 第12-14页 |
| ·类金刚石膜的制备方法 | 第14-18页 |
| ·物理气相沉积 | 第14页 |
| ·化学气相沉积 | 第14-16页 |
| ·电化学法沉积 | 第16-18页 |
| ·类金刚石膜的表征方法 | 第18-22页 |
| ·傅立叶变换红外吸收光谱(FTIR) | 第18-19页 |
| ·拉曼光谱(Raman) | 第19-20页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS) | 第20页 |
| ·扫描电子显微镜-电子能谱仪(SEM)和透射电子显微镜(TEM) | 第20-21页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第21页 |
| ·交流阻抗谱(EIS) | 第21页 |
| ·憎水性能测试 | 第21-22页 |
| ·类金刚石膜技术存在的主要问题 | 第22页 |
| ·研究课题的提出 | 第22-23页 |
| ·课题研究内容 | 第23-24页 |
| 2.液相法沉积DLC的实验设备和工艺 | 第24-32页 |
| ·实验及检测设备的选择 | 第24-26页 |
| ·电源 | 第24页 |
| ·实验装置 | 第24页 |
| ·电子探针(EPMA) | 第24-25页 |
| ·红外光谱仪(FTIR) | 第25-26页 |
| ·拉曼光谱仪(Raman) | 第26页 |
| ·扫描电镜(SEM)和光学显微镜 | 第26页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第26页 |
| ·交流阻抗(EIS) | 第26页 |
| ·实验材料的选择 | 第26-27页 |
| ·实验前处理 | 第27页 |
| ·实验工艺 | 第27-32页 |
| ·各种体系中基体为阴极的实验参数 | 第27-30页 |
| ·甲醇体系中基体为阳极的实验参数 | 第30页 |
| ·甲醇掺杂体系中基体作不同极的实验参数 | 第30-31页 |
| ·以ITO镀膜玻璃为基体的实验参数 | 第31-32页 |
| 3.液相法沉积类金刚石膜的结构表征 | 第32-53页 |
| ·实验一样品的结构分析 | 第32-38页 |
| ·电子探针谱(EPMA) | 第32-33页 |
| ·傅立叶红外光谱(FTIR) | 第33-35页 |
| ·电解液的红外光谱 | 第35-36页 |
| ·拉曼光谱(Raman) | 第36-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| ·实验二样品的结构分析 | 第38-40页 |
| ·傅立叶红外光谱(FTIR) | 第38-39页 |
| ·拉曼光谱(Raman) | 第39-40页 |
| ·小结 | 第40页 |
| ·实验三样品的结构分析 | 第40-42页 |
| ·Al基体上膜的结构分析 | 第40-42页 |
| ·Ti基体上膜的结构分析 | 第42页 |
| ·小结 | 第42页 |
| ·实验四样品的结构分析 | 第42-45页 |
| ·傅立叶红外光谱(FTIR) | 第42-44页 |
| ·拉曼光谱(Raman) | 第44-45页 |
| ·小结 | 第45页 |
| ·实验五样品的结构分析 | 第45-51页 |
| ·傅立叶红外光谱图(FTIR) | 第45-48页 |
| ·拉曼光谱图(Raman) | 第48-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| ·实验六样品的结构分析 | 第51-53页 |
| ·傅立叶红外光谱图(FTIR) | 第51页 |
| ·拉曼光谱图(Raman) | 第51-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 4.液相法制备的类金刚石膜表面形貌以及电学性能表征 | 第53-66页 |
| ·光学显微镜 | 第53-57页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第57-62页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第62-63页 |
| ·交流阻抗谱(EIS) | 第63-66页 |
| 5.实验反应机理的讨论 | 第66-71页 |
| ·影响反应的因素 | 第66-68页 |
| ·反应机理 | 第68-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |