| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| ·课题提出的背景 | 第10-15页 |
| ·低温等离子体的概念 | 第10页 |
| ·低温等离子体的产生 | 第10-11页 |
| ·介质阻挡放电的基本原理 | 第11-12页 |
| ·介质阻挡放电参数的测量 | 第12-15页 |
| ·课题的研究意义与应用 | 第15-19页 |
| ·低温等离子体技术在臭氧合成方面的应用 | 第15-16页 |
| ·低温等离子体技术在紫外光源和高功率CO_2 激光器方面的应用 | 第16-17页 |
| ·低温等离子体技术在平板显示器方面的应用 | 第17页 |
| ·低温等离子体技术在新物质合成领域的应用 | 第17-18页 |
| ·低温等离子技术在环境保护方面的应用研究 | 第18-19页 |
| ·课题研究的现状与发展趋势 | 第19-21页 |
| ·课题研究的现状 | 第19-20页 |
| ·课题研究的发展趋势 | 第20-21页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第2章 低温等离子体放电发生器及放电模式 | 第22-35页 |
| ·低温等离子体放电发生器的概述 | 第22-25页 |
| ·电阻阻挡放电 | 第22页 |
| ·金属网电极放电 | 第22-23页 |
| ·水电极放电 | 第23页 |
| ·多孔阴极放电 | 第23-24页 |
| ·气流控制的多点对板放电 | 第24-25页 |
| ·紫外线预电离放电 | 第25页 |
| ·离子捕获放电 | 第25页 |
| ·放电发生器的分类和特点 | 第25-27页 |
| ·低温等离子体放电模式 | 第27-28页 |
| ·辉光放电 | 第27页 |
| ·电晕放电 | 第27页 |
| ·火花放电 | 第27页 |
| ·流光放电 | 第27-28页 |
| ·流光放电的原理 | 第28-32页 |
| ·流光放电低温等离子体的产生 | 第32-35页 |
| 第3章 低温等离子体电源系统的原理 | 第35-46页 |
| ·概述 | 第35-36页 |
| ·反应器负载的分析 | 第36-37页 |
| ·交流侧电源的原理 | 第37-43页 |
| ·交流侧电源的主电路 | 第37-38页 |
| ·串联RLC 谐振的原理 | 第38-42页 |
| ·交流侧谐振电路工作状态分析 | 第42-43页 |
| ·直流侧电源的原理 | 第43-45页 |
| ·直流侧电源的主电路 | 第43页 |
| ·并联RLC 谐振原理 | 第43-45页 |
| ·交直流叠加电路的原理 | 第45-46页 |
| 第4章 低温等离子体电源逆变电路的设计与实现 | 第46-58页 |
| ·单相H 桥逆变电路及其控制方式 | 第46-53页 |
| ·移相控制方式 | 第46-48页 |
| ·固定180°移相方波控制方式 | 第48-49页 |
| ·单相H 桥逆变电路的PWM 控制 | 第49-53页 |
| ·逆变电路的设计 | 第53-56页 |
| ·编程实现移相PWM 波 | 第53-55页 |
| ·按键控制角度的增减 | 第55页 |
| ·数码管显示 | 第55-56页 |
| ·实验结果及波形分析 | 第56-58页 |
| 第5章 基于交直流叠加供电的低温等离子放电装置的仿真 | 第58-70页 |
| ·低温等离子体放电装置的主电路仿真 | 第58-60页 |
| ·主电路的参数设计 | 第58-59页 |
| ·主电路的仿真模型 | 第59页 |
| ·仿真结果及波形分析 | 第59-60页 |
| ·低温等离子体放电装置放电发生器的仿真 | 第60-66页 |
| ·放电过程 | 第60-61页 |
| ·放电发生器的仿真模型 | 第61-64页 |
| ·仿真结果及波形分析 | 第64-66页 |
| ·基于交直流叠加供电的低温等离子放电装置的仿真 | 第66-70页 |
| ·装置的仿真模型 | 第66-68页 |
| ·仿真结果及波形分析 | 第68-70页 |
| 第6章 结论及展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 致谢 | 第74页 |