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化学气相沉积制备炭/炭复合材料防氧化涂层

摘要第1-5页
Abstract第5-7页
本文的创新点及主要贡献第7-11页
第一章 绪论第11-29页
   ·C/C复合材料的发展第11-13页
   ·C/C复合材料的特点第13页
   ·C/C复合材料的应用第13-14页
   ·C/C复合材料的氧化过程及特点第14-16页
   ·C/C复合材料的氧化防护原理及方法第16-22页
     ·基体改性技术第16-17页
     ·表面涂层技术第17-22页
       ·防氧化涂层的基本要求第17-19页
       ·防氧化涂层的结构第19-20页
       ·C/C复合材料防氧化涂层的制备方法第20-22页
   ·化学气相沉积法(CVD)第22-27页
     ·化学气相沉积理论基础第22-24页
       ·化学气相沉积所依据的反应类型第22-23页
       ·化学气相沉积反应热力学第23-24页
       ·化学气相沉积反应动力学及速率控制因素第24页
     ·影响 CVD沉积涂层质量的因素第24-26页
     ·CVD法制备 C/C复合材料防氧化涂层第26-27页
       ·CVD法制备SiC防氧化涂层第26页
       ·CVD法制备MoSi_2防氧化涂层第26-27页
   ·本文研究的目的和意义第27页
   ·本文的主要研究内容第27-29页
第二章 实验方法第29-35页
   ·引言第29页
   ·实验所用的反应物第29-31页
     ·制备SiC涂层的先驱气源第29-30页
     ·CVD实验中其它气体第30-31页
     ·其它原材料第31页
   ·实验设备第31-33页
   ·实验方法第33页
     ·CVD法制备SiC涂层第33页
     ·包埋法制备SiC涂层第33页
     ·制备MoSi_2/SiC双相涂层第33页
   ·涂层的表征第33-34页
   ·本章小结第34-35页
第三章 CVD-SiC微观形貌第35-45页
   ·引言第35页
   ·Ar流量对反应室内温度场、流场的影响第35-37页
   ·反应室内浓度的分布第37-38页
   ·实验第38-39页
   ·沉积位置对CVD-SiC形貌的影响第39-44页
     ·实验一(Q_(Ar)=0ml/min)制备SiC涂层生长形貌观察第40-41页
     ·实验二(Q_(Ar)=50ml/min)制备SiC涂层生长形貌观察第41-42页
     ·实验三(Q_(Ar)=150ml/min)制备SiC涂层生长形貌观察第42-43页
     ·Ar流量对SiC涂层生长形貌的影响第43-44页
   ·本章小结第44-45页
第四章 二步法制备C/C复合材料SiC涂层第45-53页
   ·引言第45页
   ·实验第45-46页
   ·涂层的微观结构第46-49页
   ·涂层的防氧化性能和氧化机理第49-52页
   ·本章小结第52-53页
第五章 化学气相法制备MoSi_2/SiC涂层第53-66页
   ·引言第53-54页
   ·实验第54-55页
   ·涂层的微观结构第55-56页
   ·涂层的防氧化性能与氧化机理第56-59页
   ·工艺优化制备MoSi_2/SiC双相涂层第59-64页
     ·工艺优化制备涂层的微观结构第59-61页
       ·工艺优化方案一制备涂层的微观结构第59-60页
       ·工艺优化方案二制备涂层的微观结构第60-61页
     ·工艺优化制备涂层的防氧化性能与氧化机理第61-63页
     ·双相涂层试样氧化后表面晶相分析第63-64页
   ·本章小结第64-66页
结论第66-68页
参考文献第68-73页
攻读硕士期间发表的学术论文第73-74页
致谢第74-75页

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