| 第一章 绪论 | 第1-20页 |
| 1-1 研究起源及目的 | 第14-15页 |
| 1-2 文献回顾 | 第15-20页 |
| 1-2-1 纳米三坐标测量机技术 | 第15-16页 |
| 1-2-2 光栅信号细分技术 | 第16-17页 |
| 1-2-3 纳米定位技术 | 第17-18页 |
| 1-2-4 速度控制技术 | 第18-20页 |
| 第二章 纳米三坐标测量机系统简介 | 第20-25页 |
| 2-1 概述 | 第20页 |
| 2-2 线性衍射光栅干涉仪(LDGI) | 第20-21页 |
| 2-3 压电陶瓷驱动器HR4 | 第21-22页 |
| 2-4 DVD读取头 | 第22-23页 |
| 2-4-1 运作原理 | 第22-23页 |
| 2-4-2 DVD读取头的聚焦误差信号 | 第23页 |
| 2-5 硬件系统整合 | 第23-24页 |
| 2-6 软件开发平台—LabVIEW简介 | 第24-25页 |
| 第三章 光栅信号采集、处理与位移计算 | 第25-35页 |
| 3-1 概述 | 第25-26页 |
| 3-2 信号采集 | 第26-27页 |
| 3-2-1 信号采集系统 | 第26页 |
| 3-2-2 中高速采集对策 | 第26-27页 |
| 3-3 信号计数、细分及位移计算 | 第27-29页 |
| 3-3-1 计数及辨向原理 | 第27-28页 |
| 3-3-2 错误计数的剔除 | 第28-29页 |
| 3-3-3 相位细分原理 | 第29页 |
| 3-3-4 位移计算 | 第29页 |
| 3-4 信号处理 | 第29-34页 |
| 3-4-1 原始信号失真及其成因分析 | 第29-30页 |
| 3-4-2 信号整形处理 | 第30-34页 |
| 3-5 程序面板 | 第34-35页 |
| 第四章 纳米定位技术 | 第35-47页 |
| 4-1 概述 | 第35-36页 |
| 4-2 三种驱动模式 | 第36-37页 |
| 4-2-1 连续运动(AC模式) | 第36页 |
| 4-2-2 脉冲驱动(GATE模式) | 第36页 |
| 4-2-3 位移微调(DC模式) | 第36-37页 |
| 4-3 纳米定位技术 | 第37-38页 |
| 4-4 速度控制技术 | 第38-47页 |
| 4-4-1 经典PID控制 | 第38-39页 |
| 4-4-2 基于反向传播神经网络(BPNN)的PID控制 | 第39-43页 |
| 4-4-3 控制方案的实现 | 第43页 |
| 4-4-4 控制效果 | 第43-47页 |
| 第五章 测头控制技术 | 第47-52页 |
| 5-1 概述 | 第47页 |
| 5-2 测头瞄准原理 | 第47页 |
| 5-3 测头控制方案 | 第47-49页 |
| 5-4 聚焦误差曲线的典型应用—光栅栅距测量 | 第49-52页 |
| 第六章 软件系统 | 第52-59页 |
| 6-1 基本输入输出功能 | 第52-53页 |
| 6-1-1 信号连续采集 | 第52-53页 |
| 6-1-2 简单驱动 | 第53页 |
| 6-1-3 DC模式驱动特性测试 | 第53页 |
| 6-2 XY两轴功能程序 | 第53-56页 |
| 6-2-1 基于LDGI信号的位移测量程序 | 第53-54页 |
| 6-2-2 定位程序 | 第54-55页 |
| 6-2-3 速度控制程序 | 第55-56页 |
| 6-3 测头控制程序 | 第56页 |
| 6-4 数据处理程序 | 第56-57页 |
| 6-4-1 圆周拟合程序 | 第56-57页 |
| 6-4-2 光栅栅距测量数据处理程序 | 第57页 |
| 6-5 总调用程序 | 第57-59页 |
| 第七章 软件系统 | 第59-70页 |
| 7-1 定位实验 | 第59-61页 |
| 7-2 使用LDGI进行位移测量 | 第61-63页 |
| 7-3 速度控制下的LDGI位移测量 | 第63-65页 |
| 7-4 导轨直线度测试 | 第65-66页 |
| 7-5 测头定位控制 | 第66-70页 |
| 第八章 结论与讨论 | 第70-73页 |
| 8-1 关于信号处理和分析 | 第70-71页 |
| 8-2 关于定位控制 | 第71页 |
| 8-3 关于测头控制 | 第71页 |
| 8-4 关于速度控制 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第76页 |