铁电薄膜表面与界面特性的扫描力显微镜研究

第一章 绪论	第1-16页
·扫描力显微镜的发展简史	第10-11页
·研究动态	第11-16页
·开尔文力显微镜的技术发展	第11-13页
·KPFM 在材料研究领域中的应用	第13-16页
第二章 实验	第16-26页
·理论分析	第16-24页
·铁电极化和表面电势	第16-17页
·扫描力显微镜的基本原理	第17-19页
·锁相放大技术	第19-20页
·开尔文力显微镜及电势成像方法	第20-22页
·压电响应力显微镜	第22-24页
·实验仪器	第24-25页
·样品制备	第25-26页
第三章 表面电势检测方法	第26-34页
·检测手段的验证	第26-27页
·KPFM 的表面电势高分辨成像	第27-30页
·电势表征对形貌表征的干扰	第30-31页
·铁电薄膜表面电势分布和电畴关系	第31-34页
第四章 铁电薄膜的表面电荷沉积	第34-44页
·铁电薄膜表面电荷沉积的非对称现象研究	第34-41页
·PZT 薄膜表面的非对称电荷沉积	第34-37页
·界面电场模型	第37-40页
·小结	第40-41页
·铁电薄膜表面电荷沉积的其它基本性质	第41-44页
·沉积电荷的弛豫性能研究	第41-43页
·SBT 薄膜的表面电荷存储	第43-44页
第五章 铁电薄膜的界面电性能	第44-55页
·铁电薄膜断面样品的制备方法	第44-45页
·铁电薄膜界面性能的表征方法	第45-50页
·用于界面观测的样品台的设计	第45-47页
·用于SPM 的薄膜断面的定位方法	第47-50页
·铁电薄膜界面特性的SPM 表征	第50-55页
·倾斜抛光的PZT 薄膜的断面表征	第50-53页
·透射电镜制样方法制备的PZT 薄膜断面观测	第53-55页
第六章 结论	第55-57页
致谢	第57-58页
参考文献	第58-63页
攻硕期间取得的研究成果	第63页