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高效硅基发光及器件研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
1 绪论第8-19页
 1.1 研究硅基发光器件的目的、意义第8-9页
 1.2 实现硅基发光的有效途径第9-16页
 1.3 国外最新研究进展第16-17页
 1.4 本论文内容简介第17-19页
2 掺铒富硅硅氧化物发光第19-37页
 2.1 掺铒富硅硅氧化物发光的意义及进展第19-22页
 2.2 发光机制第22-26页
 2.3 影响Er~(3+)发光的因素第26-35页
 2.4 本章小结第35-37页
3 多孔硅发光第37-49页
 3.1 多孔硅发光研究回顾第37页
 3.2 多孔硅的微结构第37-39页
 3.3 多孔硅的发光机理第39-42页
 3.4 影响多孔硅光致发光影响因素分析第42-48页
 3.5 本章小结第48-49页
4 多孔硅微腔发光器件第49-63页
 4.1 结构设计第49页
 4.2 PSM 孔隙度分析第49-54页
 4.3 理论模型与计算模拟第54-59页
 4.4 可调电致发光第59-60页
 4.5 PSM 光谱特性第60-61页
 4.6 PSM 器件制作方法第61-62页
 4.7 本章小结第62-63页
5 光互联中集成硅基发光器件设计第63-71页
 5.1 光互联意义第63-64页
 5.2 用于光互联的集成硅基发光器件研究进展第64-66页
 5.3 芯片级光互联的反偏多孔硅光发射二极管设计第66-69页
 5.4 本章小结第69-71页
6 结论第71-73页
致谢第73-74页
参考文献第74-79页
附录1 攻读硕士论文期间发表论文目录第79页

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