CMOS光栅测量系统研究
| 第一章：引言 | 第1-16页 |
| 1．1：概述 | 第7-10页 |
| 1．1．1：光栅式测量装置的组成及要求 | 第7-8页 |
| 1．1．2：光栅式测量装置的精度指标 | 第8-9页 |
| 1．1．3：光栅式测量的特点 | 第9页 |
| 1．1．4：光栅式测量的应用范围 | 第9-10页 |
| 1．2：内外发展的现状 | 第10-11页 |
| 1．3：国外发展的现状 | 第11-12页 |
| 1．4：发展趋势及展望 | 第12-15页 |
| 1．5：本论文研究的主要内容 | 第15-16页 |
| 第二章：光栅式测量系统原理 | 第16-29页 |
| 2．1：光栅光学系统 | 第16-21页 |
| 2．1．1：单光栅光学系统 | 第16-17页 |
| 2．1．2：双光栅光学系统 | 第17-20页 |
| 2．1．2．1：直接接收式光学系统 | 第17-18页 |
| 2．1．2．2：分光式光学系统 | 第18-19页 |
| 2．1．2．3：高倍频光学系统 | 第19-20页 |
| 2．1．3：三光栅光学系统 | 第20-21页 |
| 2．2：光谱法CMOS测长系统 | 第21-23页 |
| 2．2．1：光谱法CMOS测长系统测量原理 | 第22-23页 |
| 2．2．2：光谱法CMOS测长系统的组成 | 第23页 |
| 2．3：CMOS图像传感器 | 第23-24页 |
| 2．4：CMOS常用细分方法 | 第24-29页 |
| 2．4．1：四细分算法 | 第24-25页 |
| 2．4．2：边缘检测细分方法 | 第25-28页 |
| 2．4．3：其他细分方法 | 第28-29页 |
| 第三章：光谱法测量系统的硬件组成 | 第29-44页 |
| 3．1：照明系统 | 第30-31页 |
| 3．1．1：光源的选择 | 第30页 |
| 3．1．2：光源发光分布分析 | 第30-31页 |
| 3．2：光栅副 | 第31-34页 |
| 3．2．1 光栅副的选择 | 第32页 |
| 3．2．2 光谱面上能量分布 | 第32-34页 |
| 3．3：光电成像器件CMOS | 第34-42页 |
| 3．3．1：CMOS图像传感器的总体结构 | 第34-35页 |
| 3．3．2：CMOS图像传感器的像元结构 | 第35-39页 |
| 3．3．3：本文采用的面阵型CMOS | 第39-40页 |
| 3．3．4：CMOS采集光谱稳定性分析 | 第40-42页 |
| 3．4：图像采集软件 | 第42-44页 |
| 第四章：数据处理及分析 | 第44-56页 |
| 4．1：光学系统及光谱图像 | 第44-49页 |
| 4．1．1：模拟实验装置及光谱图像 | 第44-45页 |
| 4．1．2：实际实验装置及光谱图像 | 第45-49页 |
| 4．2：软件处理 | 第49-52页 |
| 4．2．1 数据处理流程图 | 第49-50页 |
| 4．2．2：图像处理结果 | 第50-52页 |
| 4．3：实验处理结果分析 | 第52-53页 |
| 4．4：系统改进方案 | 第53-56页 |
| 第五章：图像法CMOS测量系统 | 第56-65页 |
| 5．1：CMOS测长系统结构及设计方案比较 | 第56-59页 |
| 5．1．1：双光栅系统 | 第56-57页 |
| 5．1．2：单光栅系统 | 第57页 |
| 5．1．3：软件细分算法 | 第57-59页 |
| 5．1．4：标尺光栅的设计 | 第59页 |
| 5．2：实验装置及结果分析 | 第59-62页 |
| 5．2．1：实验装置及方法 | 第59-60页 |
| 5．2．2：软件处理程序 | 第60-61页 |
| 5．2．3：图像采集软件 | 第61-62页 |
| 5．3：数据处理及误差分析 | 第62-64页 |
| 5．4：实验方法改进 | 第64-65页 |
| 第六章：总结与展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
