基于干涉原理的微纳米测量系统研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 中文摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 1 引言 | 第10-14页 |
| ·课题研究背景和意义 | 第10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-12页 |
| ·目前技术的不足 | 第12-14页 |
| 2 传感系统的提出 | 第14-19页 |
| ·光纤迈克尔逊干涉仪 | 第14-16页 |
| ·工作原理 | 第14-15页 |
| ·技术特点分析 | 第15-16页 |
| ·光纤低相干干涉仪 | 第16-19页 |
| ·工作原理 | 第16-18页 |
| ·技术特点分析 | 第18-19页 |
| 3 测量系统分析 | 第19-32页 |
| ·关键器件介绍 | 第19-24页 |
| ·光纤耦合器 | 第19-20页 |
| ·光纤隔离器 | 第20-21页 |
| ·光纤布拉格光栅 | 第21-22页 |
| ·光环行器 | 第22-23页 |
| ·压电致动线性平移台M | 第23-24页 |
| ·光纤低相干干涉传感系统测量原理分析 | 第24-29页 |
| ·低相干干涉部分原理分析 | 第26-28页 |
| ·高相干干涉部分原理分析 | 第28-29页 |
| ·测量系统的技术创新优势 | 第29-32页 |
| ·低相干干涉和高相干干涉复用设计 | 第29-30页 |
| ·短光纤干涉臂设计 | 第30-31页 |
| ·长距离远程测量 | 第31-32页 |
| 4 实验结果 | 第32-36页 |
| ·测量系统的稳定性 | 第32-33页 |
| ·低相干干涉信号和高相干干涉信号 | 第33-34页 |
| ·系统的分辨率和量程 | 第34页 |
| ·系统的线性度 | 第34-35页 |
| ·系统评价 | 第35-36页 |
| 5 基于线扫描的纳米表面三维干涉测量系统 | 第36-48页 |
| ·关键器件介绍 | 第36-39页 |
| ·闪耀光栅 | 第36-37页 |
| ·线阵CCD探测器 | 第37-39页 |
| ·系统工作原理 | 第39-41页 |
| ·基于matlab程序的数据处理 | 第41-46页 |
| ·干涉信号数据采集 | 第41-44页 |
| ·计算台阶高度差的程序设计 | 第44-45页 |
| ·数据处理结果 | 第45-46页 |
| ·系统评价 | 第46-48页 |
| 6 结论 | 第48-50页 |
| ·论文工作总结 | 第48页 |
| ·展望 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-52页 |
| 作者简历 | 第52-54页 |
| 学位论文数据集 | 第54页 |
