| 第一章 绪论 | 第1-15页 |
| ·金刚石的晶体结构 | 第6-7页 |
| ·金刚石膜的性质及应用 | 第7-10页 |
| ·化学气相沉积金刚石膜发展的历史回顾 | 第10-12页 |
| ·论文的选题和主要内容 | 第12-15页 |
| 第二章 直流热阴极PCVD方法制备金刚石膜的装置及工艺 | 第15-27页 |
| ·直流辉光放电等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜的发展状况 | 第15-17页 |
| ·直流热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积装置 | 第17-19页 |
| ·直流热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积制备方法的工艺 | 第19-27页 |
| 第三章 放电电流在直流热阴极PCVD辉光放电过程中的作用 | 第27-40页 |
| ·引言 | 第27-28页 |
| ·放电电流对放电电压的影响 | 第28-29页 |
| ·放电电流对阴极温度的影响 | 第29-32页 |
| ·放电电流对辉光状态的影响 | 第32-39页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·直流热阴极辉光放电的组成区域和特征 | 第32-35页 |
| ·放电电流对辉光状态的影响 | 第35-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 放电电流对直流热阴极辉光放电PCVD金刚石膜沉积的影响 | 第40-61页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·放电电流对金刚石膜沉积速率的影响 | 第40-44页 |
| ·放电电流对金刚石膜品质的影响 | 第44-50页 |
| ·放电电流对金刚石膜热导率的影响 | 第50-52页 |
| ·放电电流对金刚石膜应力的影响 | 第52-59页 |
| ·引言 | 第52-53页 |
| ·放电电流对金刚石自由膜宏观应力的影响 | 第53-56页 |
| ·放电电流对金刚石自由膜微观应力的影响 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 总结 | 第61-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 致谢 | 第69-71页 |
| 附: | 第71-79页 |
| 中文摘要 | 第71-75页 |
| 英文摘要 | 第75-79页 |
