玻璃基双层掩埋式光波导的制备与表征
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-26页 |
| ·研究背景 | 第11-15页 |
| ·集成光学的产生和发展 | 第11-12页 |
| ·玻璃基离子交换技术的发展 | 第12-15页 |
| ·玻璃基离子交换技术的基本原理与分类 | 第15-22页 |
| ·玻璃基离子交换的机理 | 第16-18页 |
| ·玻璃基离子交换技术的分类与特点 | 第18-22页 |
| ·玻璃基三维集成的发展 | 第22-23页 |
| ·本文的研究意义及主要内容 | 第23-26页 |
| 第2章 玻璃基离子交换过程的理论研究 | 第26-46页 |
| ·热离子交换和电场辅助离子扩散 | 第26-29页 |
| ·玻璃中热离子交换的扩散机制 | 第26-27页 |
| ·离子在电场作用下的迁移机制 | 第27-29页 |
| ·一维平板波导离子浓度分布计算 | 第29-30页 |
| ·二维沟道波导离子浓度分布计算 | 第30-38页 |
| ·第一次热离子交换 | 第31-33页 |
| ·第一次电场辅助离子扩散 | 第33-35页 |
| ·第二次热离子交换 | 第35-36页 |
| ·第二次电场辅助离子扩散 | 第36-38页 |
| ·二维沟道波导离子浓度分布计算结果分析 | 第38-45页 |
| ·上层波导的制作对下层波导的影响 | 第38-39页 |
| ·下层波导对上层波导的影响 | 第39-40页 |
| ·最大归一化离子浓度的变化 | 第40-43页 |
| ·三层波导的模拟 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第3章 玻璃基双层波导的制备 | 第46-60页 |
| ·熔盐离子交换工艺流程 | 第46-53页 |
| ·基片清洗 | 第46-47页 |
| ·镀膜 | 第47页 |
| ·光刻 | 第47-49页 |
| ·热离子交换 | 第49-50页 |
| ·电场辅助离子扩散 | 第50-51页 |
| ·后续工艺 | 第51-53页 |
| ·玻璃基双层波导的实验方案及制作 | 第53-56页 |
| ·双层单模波导实验方案及制作 | 第53-54页 |
| ·双层单模波导的对比实验方案及制作 | 第54-55页 |
| ·双层多模波导实验方案及制作 | 第55-56页 |
| ·玻璃基双层波导制作过程中若干问题 | 第56-59页 |
| ·"银线" | 第56-58页 |
| ·基片热均匀性 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第4章 双层掩埋波导的实验结果和分析讨论 | 第60-74页 |
| ·层单模掩埋波导测试结果 | 第60-63页 |
| ·显微镜端面观测 | 第60-61页 |
| ·通光测试 | 第61-62页 |
| ·损耗测试 | 第62-63页 |
| ·对比实验测量结果 | 第63-66页 |
| ·显微镜端面观测 | 第63-64页 |
| ·通光测试 | 第64-65页 |
| ·损耗测试 | 第65-66页 |
| ·层多模波导实验 | 第66-67页 |
| ·波导掩埋深度的测量结果 | 第67-69页 |
| ·三维集成器件的进一步研究 | 第69-71页 |
| ·未对准的双层掩埋式波导 | 第69-70页 |
| ·双层1×8光功分器 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-74页 |
| 第5章 总结与展望 | 第74-77页 |
| ·总结 | 第74-75页 |
| ·展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-84页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第84页 |
