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掺Er光波导Al2O3薄膜的微观状态研究

第一章 绪论第1-10页
 1.1 本课题的现状和发展第6-8页
 1.2 国外的发展第8-9页
 1.3 本人的论文工作第9-10页
第二章 电子显微学及实验设备第10-22页
 2.1 电子显微学原理第10-19页
 2.2 主要实验设备第19-20页
 2.3 薄膜制备第20-21页
 2.4 样品制备第21-22页
第三章 实验结果与讨论第22-60页
 3.1 透射电镜(TEM)的结果与分析第22-32页
 3.2 薄膜XRD的结果与分析第32-35页
 3.3 扫描电镜(SEM)的结果与分析第35-41页
 3.4 原子力(AFM)的结果与分析第41-51页
 3.5 薄膜EDX的结果与分析第51-55页
 3.6 力学性能的结果与分析第55-60页
第四章 结论第60-62页
参考文献第62-65页
致谢第65-66页

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