| 致谢 | 第5-6页 |
| 中文摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 1 绪论 | 第16-38页 |
| 1.1 问题的提出及研究意义 | 第16-17页 |
| 1.2 激光超声检测技术国内外研究现状 | 第17-35页 |
| 1.2.1 激光激发超声 | 第18-21页 |
| 1.2.2 超声检测 | 第21-35页 |
| 1.3 本文主要研究目的和研究内容 | 第35-38页 |
| 1.3.1 研究目标 | 第35-36页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第36-38页 |
| 2 半导体光感生电动势效应的理论研究 | 第38-62页 |
| 2.1 光感生电动势效应的物理机理 | 第38-41页 |
| 2.1.1 "光感生电动势"效应 | 第38-39页 |
| 2.1.2 光感生电动势效应产生的物理过程 | 第39-41页 |
| 2.2 光感生电动势效应理论基础 | 第41-46页 |
| 2.2.1 光感生电流的控制方程 | 第42-46页 |
| 2.3 双极型光电导体中光感生电流的计算 | 第46-60页 |
| 2.3.1 振动的干涉光图样 | 第46-47页 |
| 2.3.2 解方程组求解光感生电流密度 | 第47-60页 |
| 2.4 小结 | 第60-62页 |
| 3 基于光感生电动势效应的测量系统研究 | 第62-82页 |
| 3.1 基于光感生电动势效应的激光干涉振动测量原理与系统 | 第62-68页 |
| 3.1.1 基于光感生电动势效应的激光干涉振动测量原理 | 第62-63页 |
| 3.1.2 激光干涉测量系统设计 | 第63-68页 |
| 3.2 半导体器件光-电流转换效率 | 第68-81页 |
| 3.2.1 干涉条纹对比度对光感生电流的影响 | 第68-73页 |
| 3.2.2 总入射光功率对光感生电流的影响 | 第73页 |
| 3.2.3 干涉条纹空间频率对光感生电流影响 | 第73-77页 |
| 3.2.4 半导体晶体电极间距对光感生电流的影响 | 第77-81页 |
| 3.3 小结 | 第81-82页 |
| 4 测量系统实验结果及探测器性能分析 | 第82-114页 |
| 4.1 激光干涉测量实验系统 | 第82-85页 |
| 4.2 干涉测量系统用于光滑表面的振动测量 | 第85-93页 |
| 4.2.1 532nm测量系统 | 第85-89页 |
| 4.2.2 632.8nm测量系统 | 第89-93页 |
| 4.3 测量系统的改进及对粗糙表面测量的研究 | 第93-106页 |
| 4.3.1 增加入射光功率对提高测量带宽和灵敏度的研究 | 第93-96页 |
| 4.3.2 粗糙表面振动测量 | 第96-102页 |
| 4.3.3 光束形状改变对提高测量系统性能的研究 | 第102-106页 |
| 4.4 光感生电动势效应的干涉测量系统特性 | 第106-113页 |
| 4.4.1 光感生电动势效应探测器的光电转换效率或响应度 | 第106-109页 |
| 4.4.2 光感生电动势效应探测器的灵敏度 | 第109-113页 |
| 4.5 小结 | 第113-114页 |
| 5 总结与展望 | 第114-116页 |
| 5.1 总结回顾 | 第114页 |
| 5.2 展望 | 第114-116页 |
| 参考文献 | 第116-124页 |
| 附录A | 第124-134页 |
| 作者简历 | 第134-138页 |
| 学位论文数据集 | 第138页 |
