| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 引言 | 第9-10页 |
| 1 绪论 | 第10-21页 |
| ·论文选题背景及重要研究意义 | 第10-12页 |
| ·单晶蓝宝石晶体材料特性 | 第12-14页 |
| ·单晶蓝宝石晶体材料研究的国内外现状 | 第14-19页 |
| ·金刚石微粉砂轮磨削技术 | 第19-20页 |
| ·本课题的来源、研究目标及内容 | 第20-21页 |
| ·课题的来源 | 第20页 |
| ·课题的研究目标 | 第20页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第20-21页 |
| 2 蓝宝石加工运动轨迹分析及仿真 | 第21-31页 |
| ·计算机仿真技术 | 第21-22页 |
| ·蓝宝石超精密磨削原理 | 第22-23页 |
| ·蓝宝石基片工件旋转磨削运动轨迹 | 第23-25页 |
| ·节点与节圆 | 第23-24页 |
| ·运动轨迹求解 | 第24-25页 |
| ·单颗磨粒运动轨迹的Matlab仿真 | 第25-27页 |
| ·蓝宝石工件旋转磨削纹理对表面质量的影响分析 | 第27-28页 |
| ·蓝宝石工件旋转磨削纹理仿真的试验验证 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 蓝宝石高效超精密磨削试验 | 第31-45页 |
| ·蓝宝石基片的磨削试验条件 | 第31-34页 |
| ·金刚石砂轮磨削蓝宝石基片的工艺试验 | 第34-36页 |
| ·试验方案设计 | 第34-35页 |
| ·磨削试验 | 第35-36页 |
| ·磨削试验结果及分析 | 第36-44页 |
| ·正交试验结果 | 第36页 |
| ·正交试验结果处理及分析 | 第36-41页 |
| ·磨削试验的显著因素分析 | 第41-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 蓝宝石基片超精密加工表面/亚表面损伤检测方法试验研究 | 第45-67页 |
| ·表面损伤检测方法试验条件及方案设计 | 第45-47页 |
| ·蓝宝石晶体加工表面损伤检测结果与分析 | 第47-55页 |
| ·亚表面损伤检测方法试验条件及方案设计 | 第55-57页 |
| ·样品截面的抛光及腐蚀液的选择 | 第57-61页 |
| ·截面显微法检测结果及分析 | 第61-66页 |
| ·#325金刚石砂轮截面显微损伤检测结果 | 第61-62页 |
| ·#600金刚石砂轮截面显微损伤检测结果 | 第62-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 附录A #325砂轮磨削正交试验结果及分析结果 | 第73-74页 |
| 附录B #600砂轮磨削正交试验结果及分析结果 | 第74-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |